[发明专利]流体传送装置有效

专利信息
申请号: 201510335380.9 申请日: 2015-06-16
公开(公告)号: CN105023868B 公开(公告)日: 2018-02-27
发明(设计)人: 温子瑛;王吉 申请(专利权)人: 无锡华瑛微电子技术有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 无锡互维知识产权代理有限公司32236 代理人: 庞聪雅
地址: 214135 江苏省无锡市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 流体 传送 装置
【权利要求书】:

1.一种流体传送装置,其特征在于,其包括:

承载板,其上开设有若干个通孔,所述通孔包括第一圆形通孔和第二方形通孔,所述第一圆形通孔和第二方形通孔相连通;

电子控制阀,其包括第一阀部和第二阀部,所述第一阀部的形状与所述承载板的第一圆形通孔相对应,所述第二阀部的形状与所述承载板的第二方形通孔相对应;

托板,其固定于所述电子控制阀的第二阀部上,

所述电子控制阀的第一阀部伸出所述第一圆形通孔,第二阀部及托板卡入所述第二方形通孔中。

2.根据权利要求1所述的流体传送装置,其特征在于,其还包括底板、位于底板上的放置器、设置于所述底板上的一个或多个泵及容槽板,

所述承载板垂直设置于所述底板并位于所述放置器的一侧,所述容槽板垂直卡合于所述承载板上。

3.根据权利要求1所述的流体传送装置,其特征在于,所述第一阀部呈圆柱形,在圆柱形的侧面具有多个流通孔;

所述第二阀部呈棱柱状,其端部连接有电性线缆。

4.根据权利要求3所述的流体传送装置,其特征在于,在所述第二阀部棱柱状的一侧面开设有若干个第一螺丝孔,所述托板上对应所述第一螺丝孔的位置开设有第二螺丝孔,通过第一螺丝孔和第二螺丝孔将所述托板锁附于所述电子控制阀上。

5.根据权利要求1所述的流体传送装置,其特征在于,所述第二阀部的长度大于所述第二方形通孔的长度,所述第二阀部和托板的厚度总和与所述第二方形通孔的高度相等。

6.根据权利要求1所述的流体传送装置,其特征在于,所述第一圆形通孔的直径小于所述第二方形通孔宽度,所述第一圆形通孔的长度小于所述第二方形通孔的长度。

7.根据权利要求6所述的流体传送装置,其特征在于,所述第一圆形通孔的长度为所述第二方形通孔长度的六分之一至五分之一。

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