[发明专利]可推定气体容器的密闭性的气体激光振荡器

说明书

技术领域

本发明涉及一种以激光气体为介质使激光振动的气体激光振荡器。

背景技术

在将激光气体作为介质使激光振动的气体激光振荡器中，重要的是确保用于收纳激光气体的气体容器的密闭性。例如，当气体容器的密闭性较低时，空气或水分混入到激光气体中，从而激光气体组成发生变化。作为该结果，有时不能得到所希望的激光输出，导致加工不良乃至加工时间增加。此外，不能对激光电源侧与放电负载(匹配单元、电极、放电管以及放电空间内的激光气体)侧的阻抗进行整合，从而在激光电源中流过过大电流，并且，有时向放电管施加过大的电压。其结果，有时电源装置或放电管破损，或气体激光振荡器检测到异常而警报停止。

在JPH09－000405U中公开了具备漏气检测装置的气体激光振荡器，其中，所述漏气检测装置可以通过比较切断气体激光振荡器的电源前的气体压力与紧接着接通电源时的气体压力来检测激光气体的泄露。此外，在JPH09－000405U中公开了为了准确地测定气体压力而使用用于测定激光气体的温度的温度传感器。

在JP2008－153281A中公开了在激光气体的压力比正常运转低的状态下，根据从电源部输出的电流值来判定激光气体组成的异常的气体激光振荡器。

在JP2008－004773A中公开了如下的气体激光振荡器，其具备：激光气体判定单元，其根据激光气体的压力与向用于使激光气体循环的涡轮鼓风机供给的电力之间的相关性，来判定激光气体的类型；以及异常判断单元，其根据判定结果来判断气体激光振荡器的异常。

在JPH09－000405U记载的公知技术中，若不能使气体激光振荡器长时间地充分停止时，则无法推定气体容器的密闭性。此外，不能推定O形密封圈的劣化等随着使用而逐渐严重的密闭性的下降。此外，为了准确地测定气体压力需要设置温度传感器，从而成为成本增加的原因。

在JP2008－153281A以及JP2008－004773A记载的公知技术中，需要在每次进行测定时排出激光气体，之后重新供给激光气体。由此，激光气体的消耗量变多，作为结果成本增加。此外，当气体容器的密闭性下降的程度非常小时，与之对应的DC电流值或涡轮鼓风机的电力变化量较小，从而无法忽略测定误差。因此，有时无法准确地判定气体激光组成的变化。

但是，JP2011－222586A以及JP2014－053423A中公开了如下的技术，即：在向放电管施加与以阶梯状增加的电源输出指令对应的电压的气体激光振荡器中，根据放电管的电压变化相对于电源输出指令的比例，来判定是否在放电管内发生了放电。

发明内容

本发明人着眼于当激光气体组成变化时，即气体容器的密闭性下降时，很难引起放电，从而到放电开始为止的需要时间(以下，称为“放电开始时间”)增加，而提出了可以根据放电开始时间来推定气体容器的密闭性的气体激光振荡器。

本申请的第1发明，提供一种气体激光振荡器，具备：激光气体进行循环的气体容器；放电管，其被配置在所述激光气体的循环路径上；输出指令部，其输出电源输出指令；电源部，其向所述放电管施加与所述电源输出指令对应的放电管电压，以便在所述放电管内开始放电；电压检测部，其对所述放电管电压进行检测；放电开始判定部，其根据逐渐增加所述电源输出指令时的所述电压检测部的检测值，来判定是否在所述放电管内开始了放电；以及密闭性判定部，其在放电开始时间超过了预定的第1阈值时，判定为所述气体容器的密闭性下降，其中，所述放电开始时间是从开始施加所述放电管电压到所述放电开始判定部判定为开始了放电为止的时间。

本申请的第2发明，在第1发明所涉及的气体激光振荡器中，还具备：存储部，其存储由所述密闭性判定部判定为所述气体容器的密闭性下降的判定次数，当存储在所述存储部中的所述判定次数超过了预定的第2阈值时，使气体激光振荡器停止。

本申请的第3发明，在第1或第2发明所涉及的气体激光振荡器中，还具备：显示装置，其显示所述放电开始时间和由所述密闭性判定部判定为所述气体容器的密闭性下降的判定次数中的至少一项。

本申请的第4发明，在第1至第3发明中的任一项所涉及的气体激光振荡器中，还具备用于检测所述电源部的输出电流的电流检测部，当所述电流检测部的检测值超过了预定的第3阈值时，所述输出指令部暂时使所述电源输出指令下降，之后使其逐渐增加。

本申请的第5发明，在第4发明所涉及的气体激光振荡器中，还具备：第2存储部，其存储所述电流检测部的检测值超过了所述第3阈值的次数作为重试次数，当所述重试次数超过了预定的第4阈值时，暂时使激光气体的压力下降后开始放电。