[发明专利]可推定气体容器的密闭性的气体激光振荡器

权利要求书

1.一种气体激光振荡器，其特征在于，具备：

激光气体进行循环的气体容器；

放电管，其被配置在所述激光气体的循环路径上；

输出指令部，其输出电源输出指令；

电源部，其向所述放电管施加与所述电源输出指令对应的放电管电压，以便在所述放电管内开始放电；

电压检测部，其对所述放电管电压进行检测；

放电开始判定部，其根据逐渐增加所述电源输出指令时的所述电压检测部的检测值，来判定是否在所述放电管内开始了放电；以及

密闭性判定部，其在放电开始时间超过了预定的第1阈值时，判定为所述气体容器的密闭性下降，其中，所述放电开始时间是从开始施加所述放电管电压到所述放电开始判定部判定为开始了放电为止的时间。

2.根据权利要求1所述的气体激光振荡器，其特征在于，

还具备：存储部，其存储由所述密闭性判定部判定为所述气体容器的密闭性下降的判定次数，

当存储在所述存储部中的所述判定次数超过了预定的第2阈值时，使气体激光振荡器停止。

3.根据权利要求1或2所述的气体激光振荡器，其特征在于，

还具备：显示装置，其显示所述放电开始时间和由所述密闭性判定部判定为所述气体容器的密闭性下降的判定次数中的至少一项。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的气体激光振荡器，其特征在于，

还具备用于检测所述电源部的输出电流的电流检测部，

当所述电流检测部的检测值超过了预定的第3阈值时，所述输出指令部暂时使所述电源输出指令下降，之后使其逐渐增加。

5.根据权利要求4所述的气体激光振荡器，其特征在于，

还具备：第2存储部，其存储所述电流检测部的检测值超过了所述第3阈值的次数作为重试次数，

当所述重试次数超过了预定的第4阈值时，暂时使激光气体的压力下降后开始放电。

6.根据权利要求1至4中的任一项所述的气体激光振荡器，其特征在于，

施加所述放电管电压后，所述放电开始判定部没有判定为放电开始而经过了预定时间时，暂时使激光气体的压力下降后开始放电。