[发明专利]粘接头和具有该粘结头的裸片粘接设备

权利要求书

1.一种用于将裸片粘接至基材的粘接头，所述粘接头包括：

主体，所述主体连接至用于传递所述裸片的驱动部段；

板加热器，所述板加热器安装至所述主体的下表面；

夹头，所述夹头安装至所述板加热器的下表面并构造成利用真空压力来保持所述裸片；和

冷却管，所述冷却管设置成穿过所述主体并且冷却流体循环穿过所述冷却管以冷却所述板加热器，

其中所述主体包括安装块，所述安装块连接至所述驱动部段；和绝热块，所述绝热块安装至所述安装块的下部以防止热量从所述板加热器传递到所述安装块；并且

其中至少一个冷却通道形成于所述绝热块的所述下表面处，并且所述冷却管设置于所述冷却通道中；并且

热传递构件设置于所述冷却通道中以用于所述板加热器的上表面和所述冷却管之间的热传递。

2.根据权利要求1所述的粘接头，其中所述热传递构件通过用包括碳纳米管的粉末填充所述板加热器的所述上表面和所述冷却管之间的空间并执行烧结工艺来形成。

3.根据权利要求1所述的粘接头，其中所述冷却流体具有电绝缘性质。

4.根据权利要求1所述的粘接头，其中贯穿所述板加热器和所述夹头形成有彼此连接的通孔，并且贯穿所述主体形成有与所述板加热器的通孔相连接的真空通路。

5.根据权利要求1所述的粘接头，其中至少一个真空通道形成于所述板加热器的所述下表面处以真空吸附所述夹头，并且贯穿所述主体形成有与所述真空通道连接的真空通路。

6.一种用于将裸片粘接至基材的设备，所述设备包括：

驱动部段，所述驱动部段用于传递所述裸片；

粘接头，所述粘接头包括主体、板加热器、夹头和冷却管，所述主体连接至所述驱动部段，所述板加热器安装至所述主体的下表面，所述夹头安装至所述板加热器的下表面并构造成利用真空压力来保持所述裸片，所述冷却管设置穿过所述主体并且冷却流体循环穿过所述冷却管以冷却所述板加热器；和

冷却模块，所述冷却模块与所述冷却管连接以循环所述冷却流体，

其中所述主体包括安装块，所述安装块连接至所述驱动部段；和绝热块，所述绝热块安装至所述安装块的下部以防止热量从所述板加热器传递到所述安装块；并且

其中冷却通道形成于所述绝热块的所述下表面处，

所述冷却管设置于所述冷却通道中；并且

热传递构件设置于所述冷却通道中以用于所述板加热器的上表面和所述冷却管之间的热传递。