[发明专利]TEOS机台的排气管连接件以及排气管有效

申请号：	201510310619.7	申请日：	2015-06-07
公开（公告）号：	CN104878369B	公开（公告）日：	2017-10-27
发明（设计）人：	顾武强;李占斌	申请（专利权）人：	上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号：	C23C16/455	分类号：	C23C16/455;C23C16/40
代理公司：	上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237	代理人：	屈蘅
地址：	201203 上海市浦东***	国省代码：	上海;31
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摘要：
搜索关键词：	teos 机台排气管连接以及
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【权利要求书】：

1.一种TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，包括一第一管和一第二管，所述第一管嵌套在所述第二管内，所述第一管的底端和所述第二管的底端封闭连接，并且，所述第一管的高度大于所述第二管的高度；所述第二管包括第一连接部与第二连接部，连接于所述TEOS机台的排气管之间，其中，所述第一连接部与所述第二管的顶端相连，所述第二连接部与所述第二管的底端相连。

2.如权利要求1所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第一管呈圆筒形。

3.如权利要求2所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第一管的高度为30cm-40cm，直径为5cm-15cm。

4.如权利要求1所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第二管呈喇叭形状，直径由第二管的底端向第二管的顶端逐渐增加。

5.如权利要求4所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第二管的高度为20cm-25cm。

6.如权利要求4所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第二管顶端的直径为20cm-40cm。

7.如权利要求6所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第一连接部为圆环结构。

8.如权利要求4所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第二管底端的直径为5cm-15cm。

9.如权利要求8所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第二连接部为圆环结构。

10.一种TEOS机台排气管，包括第一连接管、连接件和第二连接管，其中所述连接件采用如权利要求1-9中任意一项所述TEOS机台的排气管连接件。

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