[发明专利]一种高效柔性砷化镓太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种高效柔性砷化镓太阳能电池，包括砷化镓电池外延片，外延片结构从上至下包括砷化镓电池外延层（3）、缓冲层（4）、衬底（5），砷化镓电池外延层（3）的受光面位于上部；所述受光面上设有上电极（2），其特征在于：所述衬底（5）的下方依次设有金属化层（6）和铜钼铜柔性基板（7），所述铜钼铜柔性基板（7）为铜钼铜三层复合材料，包括底层铜、中间层钼和顶层铜；

所述衬底（5）的厚度为70～110微米；所述铜钼铜柔性基板（7）的底层铜厚度为10～20微米，中间层钼厚度为10～20微米，顶层铜厚度为10～20微米，铜钼铜柔性基板（7）热膨胀系数为（6～7）X10^-6/℃。

2.根据权利要求１所述的一种高效柔性砷化镓太阳能电池，其特征在于，所述外延片受光面上还设有减反射膜（1），所述减反射膜（1）由上层的二氧化硅薄膜和下层的二氧化钛薄膜构成，所述二氧化硅薄膜厚度为90±10nm，所述二氧化钛薄膜厚度为60±10nm。

3.根据权利要求１所述的一种高效柔性砷化镓太阳能电池，其特征在于，所述金属化层（6）自下而上依次为钛层、银层、金层。

4.根据权利要求１所述的一种高效柔性砷化镓太阳能电池，其特征在于，所述外延片为三结砷化镓电池外延片，所述外延片的厚度为90±10微米。

5.一种制备如权利要求1所述高效柔性砷化镓太阳能电池的方法，其特征在于，包括如下步骤，

步骤一、外延片衬底（5）减薄，抛光；

步骤二、外延片和铜钼铜柔性基板（7）键合：清洗外延片和铜钼铜柔性基板的键合部位，在外延片衬底（5）生长金属化层（6），将金属化层（6）与铜钼铜柔性基板（7）对准、压紧，最后放入晶片键合设备中，加温、加压完成键合，得到键合片；

步骤三、在外延层（3）的上方制作上电极（2）。

6.根据权利要求5所述的一种制备高效柔性砷化镓太阳能电池的方法，其特征在于，还包括,

步骤四、外延片受光面上生长减反射膜（1）。

7.根据权利要求6所述的一种制备高效柔性砷化镓太阳能电池的方法，其特征在于，所述减反射膜（1）通过真空蒸发蒸镀至外延片受光面，蒸发台运行真空度大于1.0×10^-4Pa。

8.根据权利要求5所述的一种制备高效柔性砷化镓太阳能电池的方法，其特征在于，步骤二中，减薄、抛光后的外延片和铜钼铜柔性基板（7），依次经过丙酮、异丙醇、去离子水、HCl与H₂O体积比为1:1的混合溶液、去离子水清洗。

9.根据权利要求5所述的一种制备高效柔性砷化镓太阳能电池的方法，其特征在于，步骤二中，外延片和铜钼铜柔性基板的键合部位分别生长钛、银、金三层，其厚度分别为100nm、1000nm、60nm，键合温度300～500摄氏度，键合时间60～120分钟，键合压力2～5kg/cm²。