[发明专利]一种PC眼镜片镀膜方法有效
申请号: | 201510269959.X | 申请日: | 2015-05-25 |
公开(公告)号: | CN104911546B | 公开(公告)日: | 2017-11-07 |
发明(设计)人: | 周贤建 | 申请(专利权)人: | 瑞之路(厦门)眼镜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/08 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司35204 | 代理人: | 杨依展 |
地址: | 361000 福建省厦门市厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 pc 眼镜片 镀膜 方法 | ||
1.一种PC眼镜片镀膜方法,其特征在于:包括如下步骤:
(1)将PC眼镜片经强化处理后,洗净,再置于无尘镀膜恒温烤箱中于70℃~95℃烘烤8小时以上,以将吸附在PC眼镜片表面的剩余气体排除,增加基片与沉积分子之间的结合力;增强分子之间相互作用,使膜层紧密,附着力增大,提高机械强度;提高膜层密集度,增加膜层硬度,消除内应力;
(2)对步骤(1)烘烤后的PC眼镜片在2.0~2.3×10-5torr的真空度下通氩气的同时进行离子轰击,其中,温度为70~78℃,离子轰击速率为180~190a/sec,时间为2~5min,氩气流量为18-23sccm,时间2~5min;
(3)利用真空蒸发镀膜法在步骤(2)经离子轰击后的PC眼镜片上镀制厚度为2700~2800μm的SiO2层,具体参数为:真空度为2.0~2.3×10-5torr,温度为70~78℃,SiO2固体熔化电压为7~7.3kV,SiO2固体熔化电流为115~155A;
(4)利用真空蒸发镀膜法在步骤(3)镀制的SiO2层上镀制厚度为300~370μm的ZrO2层,具体参数为:真空度为2.0~2.3×10-5torr,温度为70~78℃,ZrO2固体熔化电压为7~7.3kV,ZrO2固体熔化电流为220~260A;
(5)利用真空蒸发镀膜法在步骤(4)镀制的ZrO2层上镀制厚度为100~160μm的SiO2层,具体参数为:真空度为2.0~2.3×10-5torr,温度为70~78℃,SiO2固体熔化电压为7~7.3kV,SiO2固体熔化电流为115~155A;
(6)利用真空蒸发镀膜法在步骤(5)镀制的SiO2层上镀制厚度为820~9000μm的ZrO2层,具体参数为:真空度为2.0~2.3×10-5torr,温度为70~78℃,ZrO2固体熔化电压为7~7.3kV,ZrO2固体熔化电流为220~260A;
(7)利用真空蒸发镀膜法在步骤(6)镀制的ZrO2层上镀制厚度为50~120μm的ITO层,并在通氧气的同时进行离子轰击,具体参数为:真空度为2.0~2.3×10-5torr,温度为70~78℃,ITO固体熔化电压为7~7.4kV,ITO固体熔化电流为10~23A,氧气流量为20-32sccm,时间1~2min,离子轰击速率为180~190a/sec,时间为2~5min;
(8)利用真空蒸发镀膜法在步骤(7)镀制的ITO层上镀制厚度为800~880μm的SiO2层,具体参数为:真空度为2.0~2.3×10-5torr,温度为70~78℃,SiO2固体熔化电压为7~7.3kV,SiO2固体熔化电流为115~155A;
(9)利用真空蒸发镀膜法在步骤(8)镀制的SiO2层上镀制厚度为100~170μm的HT-100层,冷却后即得产品,具体参数为:真空度为2.0~2.3×10-5torr,温度为70~78℃,HT-100固体熔化电压为7~7.4kV,HT-100固体熔化电流为8~22A。
2.如权利要求1所述的一种PC眼镜片镀膜方法,其特征在于:所述步骤(1)为:将PC眼镜片经强化处理后,洗净,再置于无尘镀膜恒温烤箱中于70℃~90℃烘烤8~10小时。
3.如权利要求1所述的一种PC眼镜片镀膜方法,其特征在于:所述步骤(2)为:对步骤(1)烘烤后的PC眼镜片在2.0×10-5torr的真空度下通氩气的同时进行离子轰击,其中,温度为70~75℃,离子轰击速率为180a/sec,时间为2~4min,氩气流量为20-22sccm,时间3min。
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