[发明专利]用于电容式温度计的系统和方法

说明书

提出了一种用于电容式温度计的系统和方法。本文所公开的各种实施例包括含有可偏转膜和传感电极的电容式温度计。该电容式温度计被配置为基于可偏转膜的温度调节电容值。

技术领域

本发明一般而言涉及微制造设备和电路，并且在具体实施例中，涉及用于电容式温度计的系统和方法。

背景技术

换能器将信号从一个域变换到另一个域，并且通常用于传感器中。日常生活中所见的一个常见的传感器是温度计。各种换能器通过将温度信号变换为电信号而作为温度计使用存在。

基于传感器的微电机系统(MEMS)包括使用微加工技术生产的换能器系列。MEMS通过测量换能器中的物理状态的变化收集来自环境的信息，并将信号传递到与MEMS传感器连接的处理电子器件。使用与用于集成电路的技术类似的微加工制造技术可以制造MEMS装置。

此外，温度通常是在大量应用中测量的。例如，了解温度以及温度是如何变化的对人类或动物的保健和诊断或者在制造或系统运行时可靠性和系统健康的监测是有用的。在具体示例中，在监测针对传染病、疾病和受伤的代谢反应时，监测病人的体温可能对医护人员是有用的。存在许多种温度计系统用于不同环境中而处理具体应用。

例如，这种变化的应用在源、信号测量和传输、鲁棒性、装置寿命、装置定位以及其它领域等方面提出了许多挑战。期望创造性的构想以增加温度计的有效性和应用的数目。

发明内容

本文所公开的各种实施例包括含有可偏转膜和传感电极的电容式温度计。可偏转膜被配置为基于可偏转膜的温度调节电电容。

附图说明

为了更完整地理解本发明及其优点，现将结合附图参考以下描述，其中：

图1示出了包括温度计的实施例系统的系统级图；

图2a和2b示出了实施例电容式温度计的示意图；

图3a和3b分别示出了另一个实施例电容式温度计的截面图和俯视图；

图4示出了另一个实施例电容式温度计的截面图；

图5a和5b示出了实施例半导体系统的俯视图和截面图；

图6a-6c示出了其它实施例电容式温度计的截面图；

图7示出了用于实施例电容式温度计的实施例制造顺序的框图；

图8a和8b示出了显示用于实施例系统的膜偏转的示例绘图；

图9示出了实施例操作方法的模块图；以及

图10示出了又一个实施例电容式温度计的截面图。

除非另有说明，不同附图中对应的附图标记和符号一般表示对应的部件。所绘附图用已清楚地示出实施例的相关方面而不需要按比例绘制。

具体实施方式

下面将具体描述各种实施例的制造和使用。然而，应当理解的是，本文所描述的各种实施例适用于很多不同的具体环境。所描述的具体实施例仅是用以制造和使用各种实施例的具体方式的说明，而不应当被解释为限制范围。

根据在具体环境下的各种实施例，即温度计，以及更具体地，MEMS温度计作出描述。本文所描述的各种实施例的一些包括MEMS温度计、电容式温度计、RF电路、具有RF电路的电容式温度计和可移植温度计。在其它实施例中，这些方面也可以应用于包含其它类型的根据本领域已知的任何方式将物理信号转换至另一个域的传感器或换能器的其它应用场合中。