[发明专利]一种显示基板及其制备方法、显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种显示基板及其制备方法、显示装置。

背景技术

现有的显示技术中，液晶显示器可以说是最为成熟的技术，例如，日常生活中常见的手机、数码相机、摄影机、电视机、笔记本等产品都是液晶显示器。随着人们对显示画面的品质要求的提高，高PPI(Pixels Per Inch，每英寸像素数目)的显示技术越来越受到重视。因此，现有的低开口率、高功耗的显示技术已经无法满足人们的要求。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供一种显示基板及其制备方法、显示装置，用于解决现有技术中显示面板的开口率低、功耗高的问题。

为此，本发明提供一种显示基板，包括衬底基板，所述衬底基板上设置有遮光金属层和数据线，所述遮光金属层包括第一栅线和遮光层，所述遮光层的上方对应位置设置有第二栅线，所述第一栅线、第二栅线和数据线限定的像素单元包括像素电极和薄膜晶体管。

可选的，还包括绝缘层，所述绝缘层包括缓冲层和第一栅绝缘层，所述缓冲层设置在所述遮光层上，所述第一栅绝缘层设置在所述第一栅线上。

可选的，所述薄膜晶体管包括有源层、源极、漏极、第一栅极或者第二栅极，所述有源层的构成材料包括多晶硅、非晶硅或者金属氧化物。

可选的，所述遮光层设置在所述衬底基板上，所述有源层设置在所述缓冲层上，所述有源层上设置有第二栅绝缘层，所述第二栅线和第二栅极设置在所述第二栅绝缘层上，所述第二栅线和第二栅极上设置有层间介电层，所述层间介电层上设置有第一过孔和第二过孔，所述源极通过所述第一过孔与所述有源层连接，所述漏极通过所述第二过孔与所述有源层连接。

可选的，所述第一栅线和第一栅极设置在所述衬底基板上，所述有源层设置在所述第一栅绝缘层上，所述有源层上设置有第二栅绝缘层，所述第二栅绝缘层上设置有层间介电层，所述层间介电层上设置有第一过孔和第二过孔，所述源极通过所述第一过孔与所述有源层连接，所述漏极通过所述第二过孔与所述有源层连接。

本发明还提供一种显示装置，包括上述任一显示基板。

本发明还提供一种显示基板的制备方法，包括：

在衬底基板上形成遮光金属层，所述遮光金属层包括第一栅线和遮光层；

在所述遮光层的上方对应位置形成第二栅线；

形成数据线、像素电极和薄膜晶体管，所述第一栅线、第二栅线和数据线限定的像素单元包括像素电极和薄膜晶体管。

可选的，所述在衬底基板上形成遮光金属层的步骤之后包括：

在所述遮光金属层上形成绝缘层，所述绝缘层包括缓冲层和第一栅绝缘层；

所述在所述遮光金属层上形成绝缘层的步骤包括：

在所述遮光层上形成缓冲层，在所述第一栅线上形成第一栅绝缘层。

可选的，所述薄膜晶体管包括有源层、源极、漏极、第一栅极或者第二栅极，所述有源层的构成材料包括多晶硅、非晶硅或者金属氧化物。

可选的，所述在所述遮光层上形成缓冲层的步骤之后包括：

在所述缓冲层上形成所述有源层；

在所述有源层上形成第二栅绝缘层；

所述在所述遮光层的上方对应位置形成第二栅线的步骤包括：

在所述第二栅绝缘层上形成第二栅线的同时，在所述第二栅绝缘层上形成第二栅极；

所述在所述第二栅绝缘层上形成第二栅线的同时，在所述第二栅绝缘层上形成第二栅极的步骤之后包括：

在所述第二栅线和第二栅极上形成层间介电层，所述层间介电层上形成有第一过孔和第二过孔；

在所述层间介电层上形成所述源极和所述漏极，所述源极通过所述第一过孔与所述有源层连接，所述漏极通过所述第二过孔与所述有源层连接。

可选的，所述在衬底基板上形成遮光金属层的步骤包括：

在所述衬底基板上形成第一栅线的同时，在所述衬底基板上形成第一栅极；

所述在所述第一栅线上形成第一栅绝缘层的步骤之后包括：

在所述第一栅绝缘层上形成所述有源层；

在所述有源层上形成第二栅绝缘层；

在所述第二栅绝缘层上形成层间介电层，所述层间介电层上形成有第一过孔和第二过孔；

在所述层间介电层上形成所述源极和所述漏极，所述源极通过所述第一过孔与所述有源层连接，所述漏极通过所述第二过孔与所述有源层连接。

本发明具有下述有益效果：