[发明专利]一种大行程亚微米级平面精度测量系统

说明书

技术领域

本发明是一种大行程亚微米级平面精度测量系统，特别是一种低成本大行程亚微米级平面精度测量系统，属于大行程亚微米级平面精度测量系统的创新技术。

背景技术

工厂中的三坐标测量仪不仅可以测量工件的直线度、平面度还可以测量曲面的相关参数。但是在工厂中应用最多的还是用其测量工件的直线度和平面度。测量精度一般是4微米左右。从某种角度来说，误差值已经比较大了。

发明内容

本发明的目的在于考虑上述问题而提供一种大行程亚微米级平面精度测量系统。本发明能保证测量出来的工件的直线度和平面度的精度较高，更加精确。且操作简单，价格低，方便实用。

本发明的技术方案是：大行程亚微米级平面精度测量系统，包括有基座、滑台、同步带、测微仪探头、磁座、接头、气浮滑台上盖板、光栅尺、限位开关感应座、伺服电机、气浮滑台侧板、限位开关胶片、测微仪数据处理显示单元、人机交互界面、驱动控制器，其中接头、气浮滑台上盖板、气浮滑台侧板组成气浮滑台组件，滑台装设在基座上，气浮滑台上盖板装设滑台的顶部，气浮滑台侧板固定在气浮滑台上盖板的两侧，且气浮滑台侧板与滑台的两侧触接及气浮滑台侧板与基座之间也触接，接头装设在气浮滑台侧板上，接头通入的高压气体能引导至气浮滑台组件与基座及滑台之间的缝隙，磁座通过磁体吸引力吸附于气浮滑台上盖板的顶面，磁座的底面与气浮滑台上盖板的顶面相吸附接触，测微仪探头固定在磁座上，且测微仪探头能随着滑台变换测量位置，主动同步带轮安装在伺服电机的输出轴上，从动同步带轮安装在张紧机构上，且同步带穿过滑台中所设的沟槽，绕在主动同步带轮及从动同步带轮上组成带传动副，限位开关感应座固定在滑台所设的凹槽内，光栅尺固定在滑台所设的凹槽侧面，两个限位开关胶片固定在气浮滑台上盖板的两侧，光栅尺的读数头及限位开关感应座的信号输出端与驱动控制器的输入输出信号线B连接，测微仪数据处理分析单元的信号输入端与测微仪探头的输出信号线连接，测微仪数据处理显示单元及驱动控制器与人机交互界面连接。

本发明由于气浮系统装置本身的直线度误差的均化作用和软件分析系统的补偿修正作用，所以能保证测量出来的工件的直线度和平面度的精度能够保证在0.4微米左右，比三坐标测量仪测量出来的结果更加精确。同时，该平台系统装置价格相对于三坐标测量仪更便宜，就是说能做到低成本高精度的测量效果。本发明是一种设计巧妙，性能优良，方便实用的大行程平面精度测量系统。本发明的大行程平面精度测量系统操作简单，方便实用，测量精度高。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图2为图1中磁座安装在气浮滑台上盖板上的局部放大图；

图3为图1中同步带轮与伺服电机连接的局部放大图；

图4为本发明张紧机构通过螺栓固定在滑台挡板上的结构示意图；

图5为本发明测量延长板通过螺栓固定在气浮滑台上盖板上的结构示意图；

图6为本发明测微仪数据处理显示单元及驱动控制器与人机交互界面连接的结构示意图。

具体实施方式

实施例：