[发明专利]一种大行程亚微米级平面精度测量系统

权利要求书

1.一种大行程亚微米级平面精度测量系统,其特征在于包括有基座、滑台、同步带、测微仪探头、磁座、接头、气浮滑台上盖板、光栅尺、限位开关感应座、伺服电机、气浮滑台侧板、限位开关胶片、测微仪数据处理显示单元、人机交互界面、驱动控制器，其中接头、气浮滑台上盖板、气浮滑台侧板组成气浮滑台组件，滑台装设在基座上，气浮滑台上盖板装设滑台的顶部，气浮滑台侧板固定在气浮滑台上盖板的两侧，且气浮滑台侧板与滑台的两侧触接及气浮滑台侧板与基座之间也触接，接头装设在气浮滑台侧板上，接头通入的高压气体能引导至气浮滑台组件与基座及滑台之间的缝隙，磁座通过磁体吸引力吸附于气浮滑台上盖板的顶面，磁座的底面与气浮滑台上盖板的顶面相吸附接触，测微仪探头固定在磁座上，且测微仪探头能随着滑台变换测量位置，主动同步带轮安装在伺服电机的输出轴上，从动同步带轮安装在张紧机构上，且同步带穿过滑台中所设的沟槽，绕在主动同步带轮及从动同步带轮上组成带传动副，限位开关感应座固定在滑台所设的凹槽内，光栅尺固定在滑台所设的凹槽侧面，两个限位开关胶片固定在气浮滑台上盖板的两侧，光栅尺的读数头及限位开关感应座的信号输出端与驱动控制器的输入输出信号线B连接，测微仪数据处理分析单元的信号输入端与测微仪探头的输出信号线连接，测微仪数据处理显示单元及驱动控制器与人机交互界面连接。

2.根据权利要求1所述的大行程亚微米级平面精度测量系统,其特征在于上述气浮滑台上盖板上设有台阶20，磁座有一个侧面与气浮滑台上盖板上设有的台阶的棱面相接触。

3.根据权利要求1所述的大行程亚微米级平面精度测量系统,其特征在于上述光栅尺通过光栅尺读数头固定连接板固定在滑台所设的凹槽侧面。

4.根据权利要求1所述的大行程亚微米级平面精度测量系统,其特征在于上述两个限位开关胶片对称固定在气浮滑台上盖板的两侧。

5.根据权利要求1所述的大行程亚微米级平面精度测量系统,其特征在于上述伺服电机固定在滑台挡板上，滑台挡板固定在基座上。

6.根据权利要求5所述的大行程亚微米级平面精度测量系统,其特征在于上述张紧机构固定在滑台挡板上。

7.根据权利要求1所述的大行程亚微米级平面精度测量系统,其特征在于上述同步带的两端通过压块固定在气浮滑台上盖板上。

8.根据权利要求1至7任一项所述的大行程平面精度测量系统,其特征在于上述测微仪探头通过光杆及连接旋钮固定在磁座上，使测微仪探头能随着滑台2随意变换测量位置，测微仪探头上装设有测微仪探针。

9.根据权利要求8所述的大行程平面精度测量系统,其特征在于上述接头是快速接头。

10.根据权利要求8所述的大行程平面精度测量系统,其特征在于上述气浮滑台上盖板上还装设有测量延长板。