[发明专利]阵列基板及其制作方法和显示装置

说明书

本发明涉及一种阵列基板及其制作方法，以及一种显示装置，包括：有源层；与有源层同层设置的触控信号的多个输出电极和多个接收电极；多个接收电极包括多行沿第一方向间隔设置的接收电极；多个输出电极包括多个沿第二方向延伸的输出电极。根据本发明的技术方案，将输出电极和接收电极与有源层同层设置，无需额外一次工艺制作输出电极和接收电极，可以减少基板的制作工艺，简化制作流程。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体而言，涉及一种阵列基板、一种显示装置和一种阵列基板制作方法。

背景技术

氧化物面板在大尺寸领域具有广泛的应用前景和市场，随着智能手机，笔记本，电视等电子产品的日新月异，与触控技术相结合是不可阻挡的趋势。现在市场上10inch以下的触控电极(包括输出电极和接收电极)还是以ITO(氧化铟锡)为主要材料。然而在大尺寸下，由于ITO电阻比较大，如果做成大尺寸的这就需要将ITO 做的厚度增加，势必会对降低透过率，因此大尺寸显示中，ITO用作感应电极不可行。

目前触控技术中常用的两种技术为On cell和In cell型触控技术。而In cell型以其更轻便，抗干扰能力更强，可以实现多点触控而成为近来研究热点。具体地触控原理如图1和图2所示，给图1 中纵向触控电极输入一个脉冲信号，其他列接地，同时，对图2中的横向电极逐行进行检测，检测完后电容改变的一个交叉点便可以确定，通过算法计算便可以得出在触控屏上的哪个点被触摸，从而达到触控目的。但是现有的触控电极制作需要一道单独工艺制作，使得显示基板的整体制作工艺步骤较多。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，简化输出电极和接收电极的制作工艺。

为此目的，本发明提出了一种阵列基板，包括：

有源层；

与所述有源层同层设置的触控信号的多个输出电极和多个接收电极；

所述多个接收电极包括多行沿第一方向间隔设置的接收电极；

所述多个输出电极包括多个沿第二方向延伸的输出电极。

优选地，所述有源层的材料为金属氧化物半导体；

所述输出电极和/或所述接收电极由对金属氧化物半导体进行等离子体处理形成。

优选地，所述金属氧化物半导体包括镓铟锌氧化物。

优选地，还包括：

栅绝缘层，所述有源层设置在所述栅绝缘层之上；

蚀刻阻挡层，设置在所述有源层之上，

其中，在蚀刻阻挡层中与所述有源层对应区域的设置有第一过孔；

设置在所述蚀刻阻挡层之上的源极和漏极，

其中，所述源极通过所述两个第一过孔中的一个第一过孔与所述有源层电连接，所述漏极通过所述两个第一过孔中的另一个第一过孔与所述有源层电连接。

优选地，还包括：

第一钝化层，设置在所述蚀刻阻挡层之上，

其中，在所述第一钝化层中与每个所述接收电极对应的位置设置有第二过孔；

多个接收电极连接线，设置在所述第一钝化层之上并沿第一方向延伸，每条接收电极连接线通过多个第二过孔与对应的多个接收电极电连接。

优选地，还包括：

第二钝化层，设置在所述第一钝化层之上，

其中，在所述第一钝化层中与所述漏极对应的位置设置有第三过孔，在所述第二钝化层中与所述漏极对应的位置设置有第四过孔；