[发明专利]缺陷观察装置及包含所述缺陷观察装置的激光加工设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种缺陷观察装置及包含所述缺陷观察装置的激光加工设备，且更具体而言，涉及一种能够通过选择性地利用照明光的颜色来增强对于基板上的缺陷的可见性的缺陷观察装置以及包含所述缺陷观察装置的激光加工设备。

背景技术

一般而言，在例如半导体晶圆或液晶显示器(liquidcrystaldisplay，LCD)等平板显示器上形成例如电路等各种图案。举例而言，所述平板显示器包括阵列基板、相对基板、液晶层等。其中，在所述阵列基板上形成有排列成矩阵形式的多个像素电极、沿所述多个像素电极的行安置的多条扫描线以及沿所述多个像素电极的列安置的多条信号线。

在制造阵列基板的过程中可能会出现例如电性信号线的重叠等缺陷。如果出现缺陷，则图像可能无法正常显示。因此，需要切断重叠的信号线，以防止各信号线互相重叠。此过程被称为“修复”。可对上面出现缺陷的各种基板或图案进行修复。

通常，通过观察形成于基板上的图案来决定是否进行修复。亦即，在进行修复之前向基板的顶面上发射照明光，以对图案的缺陷进行确认。尽管所述照明光是由检查装置发射，然而所述照明光可具有根据所述检查装置而预先确定的特定颜色或波长。然而，有许多缺陷无法利用一种照明光而容易地看到。因此，难以检查图案的缺陷且因此难以进行修复，从而降低了工作效率。

[现有技术文献]

[专利文献]

(专利文献1)韩国专利申请公开第2012-0043850号。

发明内容

本发明提供一种能够选择性地利用照明光的颜色的缺陷观察装置以及一种包含所述缺陷观察装置的激光加工设备。

本发明还提供一种能够提高对于缺陷的可见性以提高工作效率的缺陷观察装置以及一种包含所述缺陷观察装置的激光加工设备。

根据实例性实施例，提供一种观察基板的表面的缺陷观察装置，所述缺陷观察装置包括：照相机，用以拍摄所述基板；成像系统，用以在所述照相机上形成所述基板的表面的图像；以及照明系统，用以选择具有互不相同的波长的多种照明光中的至少一种以向所述基板发射照明光。

所述缺陷观察装置可包括自动聚焦系统，所述自动聚焦系统用以修正对所述基板进行拍摄的焦点。

所述照明系统可包括第一照明单元、第二照明单元、第三照明单元及组合单元，所述第一照明单元用以产生具有第一波长的照明光，所述第二照明单元用以产生具有第二波长的照明光，所述第三照明单元用以产生具有第三波长的照明光，所述组合单元用以选择所述照明光中的一种或者组合至少两种照明光以在一个方向上透射或反射所述照明光。

所述组合单元可包括第一涂布表面及第二涂布表面，所述第一涂布表面的一个表面反射所述具有所述第一波长的照明光且另一表面透射所述具有所述第二波长的照明光，且所述第二涂布表面的一个表面反射所述具有所述第三波长的照明光且另一表面透射所述具有所述第二波长的照明光。

所述组合单元可包括第三涂布表面及第四涂布表面，所述第三涂布表面的一个表面反射所述具有所述第一波长的照明光且另一表面透射所述具有所述第二波长的照明光，且所述第四涂布表面的一个表面反射所述具有所述第三波长的照明光且另一表面透射所述具有所述第一波长的照明光及所述具有所述第二波长的照明光。

所述第一照明单元、所述第二照明单元及所述第三照明单元产生可见光，且所述照明系统可包括第四照明单元，所述第四照明单元用以产生波长不同于所述可见光的波长的照明光。

所述缺陷观察装置可包括第一光圈、第二光圈及聚光透镜，所述第一光圈用以调整在所述组合单元中组合的所述照明光的尺寸，所述第二光圈用以调整由所述第四照明单元产生的所述照明光的尺寸，所述聚光透镜用以收集在所述组合单元中所选择或组合的所述照明光或由所述第四照明单元产生的所述照明光。

根据另一实例性实施例，提供一种用于加工基板的激光加工设备，所述激光加工设备包括：激光单元，用以产生激光射束；扫描器单元，用以调整所述所产生激光射束的行进路径；物镜，用以照射所述行进路径已经过所述扫描器单元调整的所述激光射束；以及缺陷观察装置，用以选择具有互不相同的波长的多种照明光中的至少一种并向所述基板发射所述照明光以观察所述基板。

所述激光加工设备可包括射束调整单元，所述射束调整单元安置于所述激光单元与所述扫描器单元之间，以引导由所述激光单元产生的所述激光射束，从而调整所述激光射束的尺寸。