[发明专利]缺陷观察装置及包含所述缺陷观察装置的激光加工设备

权利要求书

1.一种观察基板的表面的缺陷观察装置，其特征在于，所述缺陷观察装置包括：

照相机，用以拍摄所述基板；

成像系统，用以在所述照相机上形成所述基板的表面的图像；以及

照明系统，用以选择具有互不相同的波长的多种照明光中的至少一种以向所述基板发射照明光。

2.根据权利要求1所述的缺陷观察装置，其特征在于，还包括自动聚焦系统，所述自动聚焦系统用以修正对所述基板进行拍摄的焦点。

3.根据权利要求1所述的缺陷观察装置，其特征在于，所述照明系统包括第一照明单元、第二照明单元、第三照明单元及组合单元，所述第一照明单元用以产生具有第一波长的照明光，所述第二照明单元用以产生具有第二波长的照明光，所述第三照明单元用以产生具有第三波长的照明光，所述组合单元用以选择所述照明光中的一种或者组合至少两种照明光以在一个方向上透射或反射所述照明光。

4.根据权利要求3所述的缺陷观察装置，其特征在于，所述组合单元包括第一涂布表面及第二涂布表面，所述第一涂布表面的一个表面反射所述具有所述第一波长的照明光且另一表面透射所述具有所述第二波长的照明光，且所述第二涂布表面的一个表面反射所述具有所述第三波长的照明光且另一表面透射所述具有所述第二波长的照明光。

5.根据权利要求3所述的缺陷观察装置，其特征在于，所述组合单元包括第三涂布表面及第四涂布表面，所述第三涂布表面的一个表面反射所述具有所述第一波长的照明光且另一表面透射所述具有所述第二波长的照明光，且所述第四涂布表面的一个表面反射所述具有所述第三波长的照明光且另一表面透射所述具有所述第一波长的照明光及所述具有所述第二波长的照明光。

6.根据权利要求3所述的缺陷观察装置，其特征在于，所述第一照明单元、所述第二照明单元及所述第三照明单元产生可见光，且

所述照明系统包括第四照明单元，所述第四照明单元用以产生波长不同于所述可见光的波长的照明光。

7.根据权利要求6所述的缺陷观察装置，其特征在于，还包括第一光圈、第二光圈及聚光透镜，所述第一光圈用以调整在所述组合单元中组合的所述照明光的尺寸，所述第二光圈用以调整由所述第四照明单元产生的所述照明光的尺寸，所述聚光透镜用以收集在所述组合单元中所选择或组合的所述照明光或由所述第四照明单元产生的所述照明光。

8.一种用于加工基板的激光加工设备，其特征在于，所述激光加工设备包括：

激光单元，用以产生激光射束；

扫描器单元，用以调整所述所产生激光射束的行进路径；

物镜，用以照射所述行进路径已经过所述扫描器单元调整的所述激光射束；以及

缺陷观察装置，用以选择具有互不相同的波长的多种照明光中的至少一种并向所述基板发射所述照明光以观察所述基板。

9.根据权利要求8所述的激光加工设备，其特征在于，还包括射束调整单元，所述射束调整单元安置于所述激光单元与所述扫描器单元之间，以引导由所述激光单元产生的所述激光射束，从而调整所述激光射束的尺寸。

10.根据权利要求8所述的激光加工设备，其特征在于，所述缺陷观察装置包括用以发射多种照明光的照明系统，且

所述照明系统包括第一照明单元、第二照明单元、第三照明单元及组合单元，所述第一照明单元用以产生具有第一波长的照明光，所述第二照明单元用以产生具有第二波长的照明光，所述第三照明单元用以产生具有第三波长的照明光，所述组合单元用以选择所述照明光中的一种或者组合至少两种照明光以在一个方向上透射或反射所述照明光。

11.根据权利要求10所述的激光加工设备，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元连接至所述缺陷观察装置，以根据所述基板或根据形成于所述基板上的图案的颜色来确定由所述照明系统发射的所述照明光的颜色波长。

12.根据权利要求9至11中任一项所述的激光加工设备，其特征在于，加工所述基板的过程包括对形成于所述基板上的所述图案的缺陷进行修复的过程。