[发明专利]一种用于硅铸锭炉的固液界面测量装置在审
| 申请号： | 201510224792.5 | 申请日： | 2015-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN104807520A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 詹国彬;黄建明;周心怡;李俊 | 申请（专利权）人： | 上海东洋炭素有限公司 |
| 主分类号： | G01F23/04 | 分类号： | G01F23/04 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201611 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 铸锭 界面 测量 装置 | ||
1.一种用于硅铸锭炉的固液界面测量装置，其特征在于，包括：
一探测体，所述探测体用于接触所述硅铸锭炉中的固态多晶硅；
一驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述探测体直线运动；
一探测器， 当所述探测体与所述固态多晶硅接触时，所述探测器发出一信号；
一处理单元，所述处理单元与所述驱动装置和所述探测器连接，用于接收所述信号并控制所述驱动装置的运动方向。
2.如权利要求1所述的用于硅铸锭炉的固液界面测量装置，其特征在于，所述探测体为一石英探棒，所述石英探棒以与水平面垂直的角度进入所述硅铸锭炉。
3.如权利要求1所述的用于硅铸锭炉的固液界面测量装置，其特征在于，所述驱动装置包括一伺服电机和一滚珠丝杠，所述伺服电机驱动所述滚珠丝杠，所述滚珠丝杠与所述探测体连接。
4.如权利要求3所述的用于硅铸锭炉的固液界面测量装置，其特征在于，所述滚珠丝杠与所述探测体通过一连接装置固定。
5.如权利要求4所述的用于硅铸锭炉的固液界面测量装置，其特征在于，所述探测器为一摩擦探测器，用于探测所述连接装置与所述探测体之间是否存在一摩擦力。
6.如权利要求1所述的用于硅铸锭炉的固液界面测量装置，其特征在于，所述处理单元接收到所述信号后控制所述驱动装置向相反方向运动。
7.如权利要求1所述的用于硅铸锭炉的固液界面测量装置，其特征在于，所述固液界面测量装置还包括一底座。
8.如权利要求7所述的用于硅铸锭炉的固液界面测量装置，其特征在于，所述底座与所述硅铸锭炉连接。
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