[发明专利]一种金刚石膜热导率检测方法

权利要求书

1.一种金刚石膜热导率检测方法，其特征在于：所述检测方法按照下述步骤进行：

a、取待检测金刚石膜片；

b、将待检测的金刚石膜片在激光切割机上切取条状，称为样条；

c、将样条沿长度方向的两端分别支撑在支点上，将压力施加在样条的中分线上，缓慢施加压力，至样条断裂，记录此时的压力数值；同时，记录实验时的样条跨距L、样条宽度b、样条厚度h、载荷P，而后代入三点抗弯强度计算公式：R_f＝3·P ·L/(2b·h²)，求得样条三点抗弯断裂强度R_f值，其中载荷P的单位是N，样条跨距L、样条宽度b、样条厚度h的单位是mm，R_f单位是MPa；

d、由公式λ＝R_f/A计算出所述金刚石膜片的热导率λ；

公式中R_f的单位为MPa；A为与所述金刚石膜片的制膜工艺相对应的强度-热导换算比例系数，单位为MPa·cm·K·W^-1，λ为被检测金刚石膜片的热导率，单位为W/cm·K；

所述强度-热导换算比例系数A按照如下方式得出：任取一金刚石膜片作为测试样本，测试样本的制膜工艺与待检测金刚石膜片的制膜工艺相同，利用TPDS-金刚石薄膜热导率光热偏转测试仪测出测试样本的热导率λ，而后采用与上述b步骤、c步骤相同的方法测出该测试样本的三点抗弯断裂强度R_f，再由公式λ＝R_f/A即可求出与测试样本的制膜工艺相对应的金刚石膜强度-热导换算比例系数A；

所述b步骤中样条切取方式如下：由距离金刚石膜片边缘2-3毫米处，沿径向向中心方向切取，样条长度S＝5-6毫米，样条宽度b为1-1.2毫米；

在做金刚石膜的三点抗弯断裂强度测试时，样条的生长面与压头相接触。

2.根据权利要1所述的金刚石膜热导率检测方法，其特征在于：所述c步骤中样条厚度h＝h_实-h_修，其中h_实为样条实测厚度，h_修为考虑金刚石膜表明粗糙度的修正值，当样条h_实小于400μ时h_修为10μm，当样条h_实大于700μm时h_修为30μm，当样条h_实为 400μm～700μm时h_修为20μm。