[发明专利]一种溅射夹具及溅射操作平台

说明书

本发明提供一种溅射夹具及溅射操作平台，所述溅射夹具用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其包括：操作基台、多个夹具本体，其包括：固定件，固定在所述操作基台上；转轴，用于连接所述固定件与活动件；所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部，所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构。本发明的溅射夹具及溅射操作平台，通过在弧形状夹嘴部的上表面设置有多个凸起结构，以解决保养周期较长或者功率较大时，镀膜容易脱落的技术问题。

技术领域

本发明涉及显示器领域，特别是涉及一种溅射夹具及溅射操作平台。

背景技术

液晶显示面板的制程中，常使用溅射夹具来固定玻璃基板，以便在玻璃基板上进行制程作业，譬如真空镀膜，真空镀膜可用于制作第一金属层，常用纯铝来制造第一金属层。随着真空镀膜中所用材料的改进，使得溅射夹具的保养周期变长。保养周期较长时，溅射夹具容易造成镀膜脱落，特别当溅射夹具功率达到15000～30000k/hr时，这种情况更容易出现；而且因长时间镀膜，镀膜区域逐渐由溅射夹具往下扩展，最终流入溅射夹具上的螺丝孔内形成短路，进而出现电弧放电。

故，有必要提供一种溅射夹具及溅射操作平台，以解决现有技术所存在的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种溅射夹具及溅射操作平台，以解决现有的溅射夹具由于长时间未保养或者功率太大时，容易造成镀膜脱落的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供一种溅射夹具，用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其包括：

操作基台；

多个夹具本体，其包括：

固定件，固定在所述操作基台上；

转轴，用于连接所述固定件与活动件；

所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；以及

所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部；所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构。

在本发明的溅射夹具中，所述弧形状夹嘴部包括弯折区域，在所述弯折区域内设置有用于防止镀膜脱落的凹槽。

在本发明的溅射夹具中，所述支撑部上设置有螺丝孔，在所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有挡板，所述挡板用于阻挡所述弧形状夹嘴部上方的镀膜滑落到所述螺丝孔内。

在本发明的溅射夹具中，所述挡板的材料为铁氟龙。

在本发明的溅射夹具中，所述挡板为中空状，所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有卡槽，所述挡板套在所述卡槽外围。

本发明还提供一种溅射操作平台，其包括：

溅射夹具，用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其中所述溅射夹具包括：

操作基台；

多个夹具本体，其包括：

固定件，固定在所述操作基台上；

转轴，用于连接所述固定件与活动件；

所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；

所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部；所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构。

在本发明的溅射操作平台中，所述弧形状夹嘴部包括弯折区域，在所述弯折区域内设置有用于防止镀膜脱落的凹槽。