[发明专利]一种溅射夹具及溅射操作平台有效
| 申请号： | 201510209480.7 | 申请日： | 2015-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN104820301B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 王子彦 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13;B25B11/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 夹具 操作平台 固定件 弧形状 活动件 夹持件 夹嘴部 镀膜 凸起结构 上表面 转轴 保养周期 操作基台 固定基板 夹具本体 基板 转动 移动 支撑 | ||
1.一种溅射夹具，用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其特征在于，包括：
操作基台；
多个夹具本体，其包括：
固定件，固定在所述操作基台上；
转轴，用于连接所述固定件与活动件；通过所述转轴的转动使得所述活动件相对所述固定件运动，以带动所述夹持件移动；在使用过程中，通过转动所述转轴，使得所述活动件带动所述夹持件远离或者夹紧基板；
所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；以及
所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部；所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构，在所述凸起结构的上设置多个凹陷或者凸点。
2.根据权利要求1所述的溅射夹具，其特征在于，所述弧形状夹嘴部包括弯折区域，在所述弯折区域内设置有用于防止镀膜脱落的凹槽。
3.根据权利要求1所述的溅射夹具，其特征在于，
所述支撑部上设置有螺丝孔，在所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有挡板，所述挡板用于阻挡所述弧形状夹嘴部上方的镀膜滑落到所述螺丝孔内。
4.根据权利要求3所述的溅射夹具，其特征在于，所述挡板的材料为铁氟龙。
5.根据权利要求3所述的溅射夹具，其特征在于，
所述挡板为中空状，所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有卡槽，所述挡板套在所述卡槽外围。
6.一种溅射操作平台，其特征在于，包括：
溅射夹具，用于固定基板，以在所述基板上进行镀膜操作，其中所述溅射夹具包括：
操作基台；
多个夹具本体，其包括：
固定件，固定在所述操作基台上；
转轴，用于连接所述固定件与活动件；通过所述转轴的转动使得所述活动件相对所述固定件运动，以带动所述夹持件移动；在使用过程中，通过转动所述转轴，使得所述活动件带动所述夹持件远离或者夹紧基板；
所述活动件，通过所述转轴的转动使其相对所述固定件运动，以带动夹持件移动；
所述夹持件，设置在所述活动件上，所述夹持件包括相互连接的支撑部和弧形状夹嘴部；所述弧形状夹嘴部的上表面设置有多个用于防止镀膜脱落的凸起结构，在所述凸起结构的上设置多个凹陷或者凸点。
7.根据权利要求6所述的溅射操作平台，其特征在于，所述弧形状夹嘴部包括弯折区域，在所述弯折区域内设置有用于防止镀膜脱落的凹槽。
8.根据权利要求6所述的溅射操作平台，其特征在于，所述支撑部上设置有螺丝孔，在所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有挡板，所述挡板用于阻挡所述弧形状夹嘴部上方的镀膜滑落到所述螺丝孔内。
9.根据权利要求8所述的溅射操作平台，其特征在于，所述挡板的材料为铁氟龙。
10.根据权利要求8所述的溅射操作平台，其特征在于，所述挡板为中空状，所述支撑部和所述弧形状夹嘴部之间设置有卡槽，所述挡板套在所述卡槽外围。
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