[发明专利]处理液生成装置及处理液生成方法

权利要求书

1.一种处理液生成装置，其特征在于，

具备：

第1槽；

第1等离子发生装置，包括各自的至少一部分配置在上述第1槽内的一对第1电极和向上述一对第1电极间施加电压的电源，使上述第1槽内的液体中产生等离子；

第2槽；

第2等离子发生装置，包括各自的至少一部分配置在上述第2槽内的一对第2电极和向上述一对第2电极间施加电压的电源，使上述第2槽内的液体中产生等离子；以及

控制装置；

上述控制装置使上述第1等离子发生装置在第1时间的期间中产生等离子而在上述第1槽内生成第1处理液；

上述控制装置使上述第2等离子发生装置在比上述第1时间长的第2时间的期间中产生等离子而在上述第2槽内生成第2处理液；

上述第1处理液的初始氧化力比上述第2处理液的初始氧化力高；

上述第2处理液的持续氧化力比上述第1处理液的持续氧化力高。

2.如权利要求1所述的处理液生成装置，其特征在于，

在表示上述第1等离子发生装置的等离子发生时间与上述第1处理液的初始氧化力之间的关系的曲线图中，上述第1时间与初始氧化力在峰值成为最高的时间大致相等；

在表示上述第2等离子发生装置的等离子发生时间与上述第2处理液的初始氧化力之间的关系的曲线图中，上述第2时间包含在初始氧化力饱和的时间的范围中。

3.一种处理液生成装置，其特征在于，

具备：

第1槽；

等离子发生装置，包括各自的至少一部分配置在上述第1槽内的一对电极和向上述一对电极间施加电压的电源，使上述第1槽内的液体中产生等离子；

第2槽；

连接流路，将上述第1槽与上述第2槽连接；

连接泵，配置在上述连接流路中；以及

控制装置；

上述控制装置使上述等离子发生装置在第2时间的期间中产生等离子而在上述第1槽内生成第2处理液；

上述控制装置使上述连接泵将上述第1槽内的上述第2处理液经由上述连接流路向上述第2槽移动；

上述控制装置使上述等离子发生装置在比上述第2时间短的第1时间的期间中产生等离子而在上述第1槽内生成第1处理液；

上述第1处理液的初始氧化力比上述第2处理液的初始氧化力高；

上述第2处理液的持续氧化力比上述第1处理液的持续氧化力高。

4.如权利要求3所述的处理液生成装置，其特征在于，

在表示上述等离子发生装置的等离子发生时间与上述第1处理液的初始氧化力之间的关系的曲线图中，上述第1时间与初始氧化力在峰值成为最高的时间大致相等；

在表示上述等离子发生装置的等离子发生时间与上述第2处理液的初始氧化力之间的关系的曲线图中，上述第2时间包含在初始氧化力饱和的时间的范围中。

5.如权利要求1～4中任一项所述的处理液生成装置，其特征在于，

该处理液生成装置还具备：

放出流路，连接于上述第1槽及上述第2槽；以及

至少1个放出泵，配置在上述放出流路中，使上述第1槽的上述第1处理液及上述第2槽的上述第2处理液经由上述放出流路向外部排出；

上述控制部使上述至少1个放出泵经由上述放出流路将上述第1处理液及上述第2处理液同时向外部排出。

6.如权利要求1～4中任一项所述的处理液生成装置，其特征在于，

处理液生成装置还具备：

放出流路，连接于上述第1槽及上述第2槽；

至少1个放出泵，配置在上述放出流路中，使上述第1槽的上述第1处理液及上述第2槽的上述第2处理液经由上述放出流路向外部排出；

上述控制部使上述至少1个放出泵经由上述放出流路将上述第1处理液及上述第2处理液独立地向外部排出。

7.一种处理液生成方法，向一对电极间施加电压使在液体中产生等离子而生成处理液，其特征在于，

包括以下工序：

在第1时间的期间中产生等离子，生成第1处理液；以及

在比上述第1时间长的第2时间的期间中产生等离子，生成第2处理液；

上述第1处理液的初始氧化力比上述第2处理液的初始氧化力高；

上述第2处理液的持续氧化力比上述第1处理液的持续氧化力高。

8.如权利要求7所述的处理液生成方法，其特征在于，

在表示等离子发生时间与上述处理液的初始氧化力之间的关系的曲线图中，上述第1时间与初始氧化力在峰值成为最高的时间大致相等；

在表示等离子发生时间与上述处理液的初始氧化力之间的关系的曲线图中，上述第2时间包含在初始氧化力饱和的时间的范围中。