[发明专利]保持光学元件100级洁净度的方法及包装设备

说明书

技术领域

本发明属于高能、高功率大型激光装置领域，具体涉及保持光学元件100级洁净度的方法及包装设备。适用于在低于100级洁净度环境中保持100级洁净度的储存方法和流通方法。

背景技术

实验室的洁净度是指在工作环境的空气中，单位体积内所含一定粒径微尘的数目。

洁净度等级是指超过某一粒径的微粒浓度。每一洁净度等级定义了1ft2[或0.1m²]表面区域上的最大粒径。因此100级粒子分布的表面，在每一平方英寸上只有一个100μm的微粒，还有一定数量要求的小微粒，最小至1μm直径。

MIL-STD-1246C (Product Cleanliness Levels and Contamination ControlProgram)为美国产品洁净及污染控制标准，主要定义洁净表面的微粒和覆盖层的等级，以微粒的洁净等级为例，从1~1000级，每一等级都考虑到微粒数及其直径的分布。

在高能/高功率固体激光器装置中，光学元件的100级洁净度是国际中统一认可的，是实现其理论目标的基准要求，是在其个体安装、模块组合、装置运行及维护过程中对光学元件的基本洁净要求。另外在其它的各类辅助实验中（包含化学膜镀制和模块化装调等工艺关键节点），光学元件的100洁净度也是参与各个工艺实验的首要准备条件之一。

当发生以下几种情况时，均需要100级洁净度光学元件暂时脱离100级洁净环境，存放至非100级洁净环境中，以备后期使用；

a. 激光装置中，交叉或循环等多类实验而引发的光学元件更替；

b.激光装置中的部分装校模块维护和更新调试中的模块存储；

c. 批量光学元件的膜层镀制工艺中，先期完成后期预处理（最后一道工序）的光学元件；

d.模块化光学元件批量装校前的准备工作；

e. 光学元件的离线检验。

发明内容

为克服光学元件的洁净度等级会随着光学元件所处环境的洁净度等级的变化而改变的不足，本发明的目的是提供一种保持光学元件100级洁净度的方法，本发明的另一目的是提供用于保持光学元件100级洁净度的方法的光学元件包装设备。本发明能在低于100级洁净度的环境中，仍然保持光学元件原有的100级洁净度。

本发明的技术方案如下：

本发明的保持光学元件100级洁净度的方法，依次包括以下步骤：

a) 将用于包装100级洁净度光学元件包装设备，进行超声波清洗并烘干；

b) 将用于包装100级洁净度光学元件包装设备，在100级洁净度空间环境下，使用优级乙醇进行擦拭去水，并使用压缩空气吹拂；

c) 将待包装的100级洁净度光学元件置于所述的光学元件包装设备内；

d) 将内置100级洁净度光学元件的光学元件包装设备外围沿顺时针方向贴附100级洁净度的薄膜，形成密封体。

其中， a）步骤中的超声波频率为50Hz~75 Hz，100W光照烘干时间为2h~4h； b）步骤中的优级乙醇CH₃CH₂OH≥99.8%。

本发明的保持光学元件100级洁净度的包装设备，其特点是，所述的设备包括提把、垫块、顶盖、侧梁、底梁、旋紧卡扣、旋紧螺栓、连接开关、封板。所述提把设置在顶盖的上方，顶盖两侧分别设置有插槽，用于封板的固定。所述旋紧卡扣镶嵌在顶盖的两端，用于固定连接旋紧镙栓。所述旋紧镙栓镶嵌在侧梁的上半部，用于连接侧梁与顶盖。所述连接开关镶嵌在底梁与侧梁连接的两端，用于连接底梁与两个侧梁。所述垫块分别固定在侧梁、底梁、顶盖的中心位置。所述侧梁、底梁两侧均设置有插槽，用于作为本发明的保持光学元件100级洁净度方法的改进，可以随时便捷的使用基本设备就能够达到在储存环境低于光学元件要求的洁净度情况下，仍能保持光学元件原有的洁净度要求，也不必担心密封设施会影响环境的洁净度。

作为本发明的保持光学元件100级洁净度方法的改进，使用同一套封装设备，可以使多种类别、多种工艺和多种不同洁净度等级要求的光学元件同时放置于低于光学元件洁净度等级要求的储存环境中。

作为本发明的保持光学元件100级洁净度方法的另一种改进，如果光学元件的存放时限在超出24周以上的长时间储存，可以进行二次密封，其密封方向与第一次封装方向呈直角的方向；

本发明的有益效果是实现了洁净光学元件在低于其自身洁净度的环境中，保持光学元件的原有洁净度要求，并保持其表面等级要求不降低。