[发明专利]保持光学元件100级洁净度的方法及包装设备有效

专利信息
申请号: 201510171769.4 申请日: 2015-04-13
公开(公告)号: CN104816889B 公开(公告)日: 2017-03-29
发明(设计)人: 叶琳;黄进;郑芳兰;杨存榜 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: B65D85/38 分类号: B65D85/38;B65D81/18;B65B11/02;B65B31/00
代理公司: 中国工程物理研究院专利中心51210 代理人: 翟长明,韩志英
地址: 621999 四*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 保持 光学 元件 100 洁净 方法 包装 设备
【权利要求书】:

1.保持光学元件100级洁净度的方法,其特征在于,所述的方法依次包括以下步骤:

a).将用于包装100级洁净度光学元件包装设备,进行超声波清洗;

b).将用于包装100级洁净度光学元件包装设备,进行100W功率的光照烘干;

c).将用于包装100级洁净度光学元件包装设备,在100级洁净度空间环境下,用100级洁净度的洁净绸布蘸乙醇沿顺时针进行擦拭;

d).在100级洁净度空间环境下,将用于包装100级洁净度光学元件包装设备进行20Pa压强的压缩空气吹拂;

e).将待安装的光学元件立式放置在用于包装100级洁净度光学元件包装设备底座的垫块中,利用两套连接开关将各自对应的侧梁旋转直立,直至与底梁成900夹角,同时将光学元件放置在两根侧梁的垫块中,使之固定以保证光学元件不发生移动;

f).将两件封板由上至下分别插入两根侧梁和底梁的两侧插槽中;

g).将顶盖的插槽对应插入封板后,把侧梁的旋紧旋转直立于顶盖中的旋紧卡扣中,再旋紧旋紧螺栓即可;

h).沿顺时针方向将内置100级洁净度光学元件的光学元件包装设备外围贴附100级洁净度的薄膜厚度为0.5mm~1mm,形成一个相对密封体。

2.根据权利要求1所述的保持光学元件100级洁净度的方法,其特征在于:所述的a)步骤中的超声波频率为50Hz~75 Hz,。

3.根据权利要求1所述的保持光学元件100级洁净度的方法,其特征在于:所述的b)步骤中的100W光照烘干时间为2h~4h。

4.根据权利要求1所述的保持光学元件100级洁净度的方法,其特征在于:所述的c)步骤中的乙醇CH3CH2OH≥99.8%。

5.一种用于权利要求1所述的保持光学元件100级洁净度的方法的光学元件包装设备,其特征在于,所述的设备包括提把(1)、垫块、顶盖(3)、侧梁(4)、底梁(5)、旋紧卡扣(6)、旋紧螺栓(7) 、连接开关(8)、封板(9);所述提把(1)设置在顶盖(3)的上方,顶盖(3)两侧分别设置有插槽,用于封板(9)的固定;所述旋紧卡扣(6)镶嵌在顶盖(3)的两端,用于固定连接旋紧镙栓(7);所述旋紧镙栓(7)镶嵌在侧梁(4)的上半部,用于连接侧梁(4)与顶盖(3);所述连接开关(8)镶嵌在底梁(5)与侧梁连接(4)的两端,用于连接底梁(5)与两个侧梁(4);所述垫块分别固定在侧梁(4)、底梁(5)、顶盖(3)的中心位置;所述侧梁(4)、底梁(5)两侧均设置有插槽,用于封板(9)的固定。

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