[发明专利]一种气体喷嘴

说明书

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种气体喷嘴。

背景技术

在集成电路制造过程中，由于特定的工艺流程和材料对空气中的氧气、氨根离子、酸根离子非常敏感，业界普遍的做法就是对硅片或材料存储微环境充入干燥氮气或纯净空气。由于使用的充气喷嘴自身没有控制开关功能，故现有的充气设备之工作方式主要分为两种：其一为将气体喷嘴直接接入厂务气体管路，并持续排气；其二为在设备端增加感应器来负责对厂务气体管路进行开关控制。

明显地，将气体喷嘴直接接入厂务气体管路，并持续排气，势必造成气体无端浪费，增加生产成本；在设备端增加感应器来负责对厂务气体管路进行开关控制，势必需要配备控制终端，成本过高，不利用产业化的大量装配。

寻求一种可控性强、操作简单，并成本低廉，适于大量装配的气体喷嘴已成为本领域技术人员亟待解决的技术问题之一。

故针对现有技术存在的问题，本案设计人凭借从事此行业多年的经验，积极研究改良，于是有了本发明一种气体喷嘴。

发明内容

本发明是针对现有技术中，传统的气体喷嘴直接接入厂务气体管路，并持续排气，势必造成气体无端浪费，增加生产成本，以及在设备端增加感应器来负责对厂务气体管路进行开关控制，势必需要配备控制终端，成本过高，不利用产业化的大量装配等缺陷提供一种气体喷嘴。

为实现本发明之目的，本发明提供一种气体喷嘴，所述气体喷嘴，包括：喷嘴外套，呈上端开口下端封闭的中空柱状，并在所述喷嘴外套之侧壁设置用于与外界气体管路连通的进气管口和用于与支撑载体固定设置的支架固定突起；活塞内套，滑动设置在所述喷嘴外套内，并进一步包括内套底座，以及设置在所述内套底座上且异于所述喷嘴外套之底部的内套通气管，且所述内套通气管之紧邻所述内套底座的一端设置内套通气孔，所述内套通气管之异于所述内套通气孔的一端呈开口状；弹性元件，设置在所述喷嘴外套的底部与所述活塞内套的内套底座之间；活塞外套，滑动设置在所述喷嘴外套内，并进一步包括与所述活塞内套之内套通气管外侧呈螺纹连接的外套底座，以及设置在所述外套底座上且异于所述内套底座一侧的外套喷嘴；喷嘴螺帽，与所述喷嘴外套之上端外侧呈螺纹连接，并通过呈倒台阶状的螺帽固定螺纹口和喷嘴固定管口对所述活塞外套之运动进行限位。

可选地，所述活塞外套之外套喷嘴的顶端封闭，并在所述外套喷嘴之紧邻顶端处设置外套通气孔，且所述外套通气孔之底部到所述外套底座之底部的距离大于所述内套通气管的高度。

可选地，所述活塞外套之外套喷嘴的顶端呈开口状设置。

可选地，所述活塞内套之内套底座的外径与所述喷嘴外套的内径相等，所述内套通气管之外径小于所述内套底座之外径。

可选地，所述活塞外套之外套底座的外径与所述活塞外套的内径相等，所述活塞外套之外套喷嘴的外径小于所述活塞外套之外套底座的外径。

可选地，所述活塞外套之外套喷嘴的高度大于所述活塞内套之内套通气管的高度。

可选地，所述喷嘴外套之顶部到所述进气管口底部的距离大于或等于所述外套底座与所述内套底座之总高度。

可选地，所述气体喷嘴之通气开关的最大可调距离为所述内套底座之高度与所述进气管口之直径的差值。

可选地，在通气开关距离最大时所述进气管口之底部到所述喷嘴外套之底部的距离大于所述弹性元件之最小压缩高度、内套底座之高度，以及最大开关距离之和。

可选地，在通气开关距离最小时所述活塞外套之外套喷嘴高于所述喷嘴螺帽顶部的高度与所述活塞内套之内套底座的高度相等。

可选地，所述弹性元件的最大弹性高度大于所述进气管口之底端与所述喷嘴外套之底端的距离。

综上所述，本发明气体喷嘴通过在所述喷嘴外套内设置活塞内套和活塞外套，并在所述活塞外套与所述喷嘴外套之底部设置弹性元件，且通过螺纹连接的方式调节所述活塞内套与所述活塞外套之间的间距，不仅可实现气体喷嘴开关功能的自动切换，避免气体浪费和复杂的设备改造，而且可满足不同尺寸类型之充气装置的零件调配问题，减少备品库存，实用性强。

附图说明

图1所示为本发明第一实施方式之气体喷嘴的立体结构示意图；

图2所示为本发明第一实施方式之气体喷嘴的喷嘴外套结构示意图；

图3(a)～3(b)所示为本发明第一实施方式之气体喷嘴的活塞内套结构示意图；

图4(a)～4(b)所示为本发明第一实施方式之气体喷嘴的活塞外套结构示意图；