[发明专利]一种气体喷嘴有效

专利信息
申请号: 201510149062.3 申请日: 2015-03-31
公开(公告)号: CN104689935B 公开(公告)日: 2017-01-25
发明(设计)人: 马兰涛;朱骏;张旭升 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: B05B1/30 分类号: B05B1/30
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 代理人: 王宏婧
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 气体 喷嘴
【权利要求书】:

1.一种气体喷嘴,其特征在于,所述气体喷嘴,包括:

喷嘴外套,呈上端开口下端封闭的中空柱状,并在所述喷嘴外套之侧壁设置用于与外界气体管路连通的进气管口和用于与支撑载体固定设置的支架固定突起;

活塞内套,滑动设置在所述喷嘴外套内,并进一步包括内套底座,以及设置在所述内套底座上且异于所述喷嘴外套之底部的内套通气管,且所述内套通气管之紧邻所述内套底座的一端设置内套通气孔,所述内套通气管之异于所述内套通气孔的一端呈开口状;

弹性元件,设置在所述喷嘴外套的底部与所述活塞内套的内套底座之间;

活塞外套,滑动设置在所述喷嘴外套内,并进一步包括与所述活塞内套之内套通气管外侧呈螺纹连接的外套底座,以及设置在所述外套底座上且异于所述内套底座一侧的外套喷嘴;

喷嘴螺帽,与所述喷嘴外套之上端外侧呈螺纹连接,并通过呈倒台阶状的螺帽固定螺纹口和喷嘴固定管口对所述活塞外套之运动进行限位。

2.如权利要求1所述的气体喷嘴,其特征在于,所述活塞外套之外套喷嘴的顶端封闭,并在所述外套喷嘴之紧邻顶端处设置外套通气孔,且所述外套通气孔之底部到所述外套底座之底部的距离大于所述内套通气管的高度。

3.如权利要求1所述的气体喷嘴,其特征在于,所述活塞外套之外套喷嘴的顶端呈开口状设置。

4.如权利要求2或权利要求3任一权利要求所述的气体喷嘴,其特征在于,所述活塞内套之内套底座的外径与所述喷嘴外套的内径相等,所述内套通气管之外径小于所述内套底座之外径。

5.如权利要求2或权利要求3任一权利要求所述的气体喷嘴,其特征在于,所述活塞外套之外套底座的外径与所述活塞外套的内径相等,所述活塞外套之外套喷嘴的外径小于所述活塞外套之外套底座的外径。

6.如权利要求2或权利要求3任一权利要求所述的气体喷嘴,其特征在于,所述活塞外套之外套喷嘴的高度大于所述活塞内套之内套通气管的高度。

7.如权利要求2或权利要求3任一权利要求所述的气体喷嘴,其特征在于,所述喷嘴外套之顶部到所述进气管口底部的距离大于或等于所述外套底座与所述内套底座之总高度。

8.如权利要求2或权利要求3任一权利要求所述的气体喷嘴,其特征在于,所述气体喷嘴之通气开关的最大可调距离为所述内套底座之高度与所述进气管口之直径的差值。

9.如权利要求8所述的气体喷嘴,其特征在于,在通气开关距离最大时所述进气管口之底部到所述喷嘴外套之底部的距离大于所述弹性元件之最小压缩高度、内套底座之高度,以及最大开关距离之和。

10.如权利要求8所述的气体喷嘴,其特征在于,在通气开关距离最小时所述活塞外套之外套喷嘴高于所述喷嘴螺帽顶部的高度与所述活塞内套之内套底座的高度相等。

11.如权利要求8所述的气体喷嘴,其特征在于,所述弹性元件的最大弹性高度大于所述进气管口之底端与所述喷嘴外套之底端的距离。

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