[发明专利]TFT基板及其制造方法、显示装置有效

专利信息
申请号: 201510138273.7 申请日: 2015-03-26
公开(公告)号: CN104765214B 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: 梁魁 申请(专利权)人: 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司
主分类号: G02F1/1362 分类号: G02F1/1362;H01L27/02;H01L29/786
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 张所明
地址: 100015 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: tft 及其 制造 方法 显示装置
【权利要求书】:

1.一种TFT基板,其特征在于,所述TFT基板包括:

衬底基板;

所述衬底基板上形成有公共电极金属;

形成有所述公共电极金属的基板上形成有栅绝缘层;

形成有所述栅绝缘层的基板上形成有钝化层;

其中,所述公共电极金属对应的钝化层区域为公共电极金属区,所述公共电极金属上形成有多个凹槽,以使得所述公共电极金属区上形成多个阻流凹槽,每个所述阻流凹槽的深度小于所述公共电极金属的厚度,每个所述阻流凹槽的开口为V字形,多个开口为V字形的所述阻流凹槽连通形成锯齿形的凹槽。

2.根据权利要求1所述的TFT基板,其特征在于,所述TFT基板为ADS面板或IPS面板中的TFT基板,

所述衬底基板上形成有ITO层;

形成有所述ITO层的基板上形成有所述公共电极金属。

3.一种TFT基板的制造方法,其特征在于,所述TFT基板包括衬底基板,所述方法包括:

在所述衬底基板上形成公共电极金属;

在形成有所述公共电极金属的基板上形成栅绝缘层;

在形成有所述栅绝缘层的基板上形成钝化层;

其中,所述公共电极金属对应的钝化层区域为公共电极金属区,所述公共电极金属上形成有多个凹槽,以使得所述公共电极金属区上形成多个阻流凹槽,每个所述阻流凹槽的深度小于所述公共电极金属的厚度,每个所述阻流凹槽的开口为V字形,多个开口为V字形的所述阻流凹槽连通形成锯齿形的凹槽。

4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述在形成有所述公共电极金属的基板上形成栅绝缘层,包括:

在形成有所述公共电极金属的基板上形成栅绝缘层,且对所述栅绝缘层上,所述公共电极金属的凹槽对应区域进行过刻。

5.根据权利要求3或4所述的方法,其特征在于,所述TFT基板为ADS面板或IPS面板中的TFT基板,所述在所述衬底基板上形成公共电极金属之前,所述方法还包括:

在所述衬底基板上形成ITO层;

所述在所述衬底基板上形成公共电极金属,包括:

在形成有所述ITO层的基板上形成具有凹槽的公共电极金属,以使得所述公共电极金属区上形成所述阻流凹槽。

6.一种显示装置,其特征在于,所述显示装置包括:权利要求1或2所述的TFT基板。

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