[发明专利]感光性聚硅氧烷组合物及其应用有效
| 申请号: | 201510129323.5 | 申请日: | 2015-03-24 |
| 公开(公告)号: | CN104950580B | 公开(公告)日: | 2020-01-03 |
| 发明(设计)人: | 吴明儒;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
| 主分类号: | G03F7/075 | 分类号: | G03F7/075;G03F7/008 |
| 代理公司: | 11127 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 姚亮 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 感光性 聚硅氧烷 组合 及其 应用 | ||
1.一种感光性聚硅氧烷组合物,其包含:
聚硅氧烷A;
邻萘醌二叠氮磺酸酯B;
化合物C;
无机粒子D,其中该无机粒子D是以第四族元素的氧化物为主要成分,其中,所述第四族元素为钛或锆;以及
溶剂E;
其中所述聚硅氧烷A是由下列结构式1所表示的硅烷化合物经加水分解及部分缩合反应而得的共聚物:
Si(R10)W(OR11)4-W 结构式1
其中:
R10为选自由氢、碳数为1至10的烷基、碳数为2至10的烯基、碳数为6至15的芳香基、含酸酐基的烷基、含环氧基的烷基及含环氧基的氧烷基所组成的群,且至少一个R10是选自由含酸酐基的烷基、含环氧基的烷基及含环氧基的氧烷基所组成的群;
R11为选自由氢、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的酰基及碳数为6至15的芳香基所组成的群;及
w为0、1、2或3;
其中所述化合物C为下列结构式3所示的化合物或其盐类衍生物:
结构式3
其中:
m表示2至6的整数;及
R31、R32分别独立表示氢原子、碳数为1至8的烷基、碳数为1至6的可具有取代基的羟烷基、或碳数为2至12的二烷基胺基。
2.根据权利要求1所述的感光性聚硅氧烷组合物,其中,基于该聚硅氧烷A的使用量为100重量份,该邻萘醌二叠氮磺酸酯B的使用量为5至35重量份;该化合物C的使用量为0.01至3重量份;该无机粒子D的使用量为30至200重量份;该溶剂E的使用量为100至1000重量份。
3.根据权利要求1所述的感光性聚硅氧烷组合物,其中,所述无机粒子D的粒径大小为1nm至60 nm。
4.一种在基板上形成薄膜的方法,其包含使用权利要求1至3任一项所述的感光性聚硅氧烷组合物施于该基板上。
5.一种基板上的薄膜,该薄膜是根据权利要求4所述的方法所制得。
6.根据权利要求5的薄膜,该薄膜为液晶显示组件或有机电激发光显示器中TFT基板上使用的平坦化膜、层间绝缘膜或光波导路的芯材或包覆材的保护膜。
7.一种装置,该装置包含根据权利要求5或6的薄膜。
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