[发明专利]物理量传感器、高度计、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及物理量传感器、高度计、电子设备以及移动体。

背景技术

近年来，作为物理量传感器，具有例如压敏电阻元件、振子等传感器元件的传感器因小型、轻量且高灵敏度而在工业计测、医疗等领域中被广泛应用。

作为这样的物理量传感器，专利文献1记载有如下压力传感器，其具有因受压而挠曲变形的隔膜和设置在该隔膜上的例如压敏电阻元件。在这样的压力传感器中，基于因隔膜挠曲而产生的压敏电阻元件的电阻值的变化量，能够检测施加于隔膜的压力。

这样的专利文献1中记载了如下情况：将压敏电阻元件配置在隔膜发生挠曲变形时容易集中应力的隔膜的边缘部侧，由此，提高了物理量传感器的检测灵敏度。

但是，基于这样的压敏电阻元件的配置，不能充分增大压敏电阻元件的基于隔膜变形的电阻值的变化量，不能得到具有足够高的检测灵敏度的物理量传感器。

专利文献1：日本特开2006-3099号公报

本发明的目的在于，提供检测灵敏度高的物理量传感器，并提供具有该物理量传感器的高度计、电子设备以及移动体。

发明内容

本发明是为了解决上述的问题的至少一部分而完成的，可以作为以下的应用例来实现。

[应用例1]

本应用例的物理量传感器的特征在于具有：

可挠曲变形的隔膜；以及

挠曲量元件，其设置在所述隔膜上，输出与所述隔膜的挠曲量对应的信号，

所述挠曲量元件具有：

中心侧元件，其被设置为靠近所述隔膜的中心；以及

边缘部侧元件，其被设置为比所述中心侧元件靠近所述隔膜的边缘部。

由此，能够特别增大挠曲量元件的电阻值的变化量，由此，能够提供检测灵敏度高的物理量传感器。

[应用例2]

在本应用例的物理量传感器中，优选的是，所述中心侧元件以及所述边缘部侧元件从所述隔膜的中心朝向边缘部排列设置。

由此，能够特别增大挠曲量元件的电阻值的变化量。因此，能够进一步提高物理量传感器的检测灵敏度。

[应用例3]

在本应用例的物理量传感器中，优选的是，在所述隔膜的挠曲变形量变化时，

所述中心侧元件和所述边缘部侧元件检测出的应力的大小彼此朝相反方向变化。

由此，靠近中心设置中心侧元件，靠近边缘部设置边缘部侧元件，从而能够特别增大挠曲量元件的电阻值的变化量。因此，能够进一步提高物理量传感器的检测灵敏度。

[应用例4]

在本应用例的物理量传感器中，优选的是，在设从所述隔膜的中心到所述隔膜的外缘的距离为L时，

所述中心侧元件位于距所述隔膜的中心2L/3以下的范围内。

该范围内的区域是在隔膜发生挠曲变形时向隔膜压缩的方向施加应力的区域，是因向隔膜施加压力而使中心侧元件的电阻值的变化量特别增大的区域。因此，通过在所述范围内设置中心侧元件，能够进一步提高物理量传感器的检测灵敏度。

[应用例5]

在本应用例的物理量传感器中，优选的是，在设从所述隔膜的中心到所述隔膜的外缘的距离为L时，

所述中心侧元件位于距所述隔膜的中心L/4以上且L/2以下的范围内。

由此，能够实现中心侧元件的高密度化，能够进一步提高物理量传感器的检测灵敏度。

[应用例6]

在本应用例的物理量传感器中，优选的是，所述隔膜在俯视时为四边形状，在由两个对角线分割出的4个区域中的至少1个所述区域内，各设置至少1个所述中心侧元件以及所述边缘部侧元件。

由此，能够特别增大挠曲量元件的电阻值的变化量，由此，能够进一步提高物理量传感器的检测灵敏度。

[应用例7]

在本应用例的物理量传感器中，优选的是，在所述4个区域内，分别各设置至少1个所述中心侧元件以及所述边缘部侧元件。

由此，能够更加均等地检测施加于隔膜的压力，从而能够进一步提高物理量传感器的检测精度。

[应用例8]

在本应用例的物理量传感器中，优选的是，所述中心侧元件以及所述边缘部侧元件在俯视时为长条形状，

所述中心侧元件的长边方向与所述边缘部侧元件的长边方向交叉。

由此，能够特别增大挠曲量元件的电阻值的变化量。因此，能够进一步提高物理量传感器的检测灵敏度。

[应用例9]