[发明专利]物理量传感器、高度计、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：

可挠曲变形的隔膜；以及

挠曲量元件，其设置在所述隔膜上，输出与所述隔膜的挠曲量对应的信号，

所述挠曲量元件具有：

中心侧元件，其被设置为靠近所述隔膜的中心；以及

边缘部侧元件，其被设置为比所述中心侧元件靠近所述隔膜的边缘部。

2.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述中心侧元件以及所述边缘部侧元件从所述隔膜的中心朝向边缘部排列设置。

3.根据权利要求2所述的物理量传感器，其中，

在所述隔膜的挠曲变形量变化时，

所述中心侧元件和所述边缘部侧元件检测出的应力的大小彼此朝相反方向变化。

4.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

在设从所述隔膜的中心到所述隔膜的外缘的距离为L时，

所述中心侧元件位于距所述隔膜的中心2L/3以下的范围内。

5.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

在设从所述隔膜的中心到所述隔膜的外缘的距离为L时，

所述中心侧元件位于距所述隔膜的中心L/4以上且L/2以下的范围内。

6.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述隔膜在俯视时为四边形状，在由两个对角线分割出的4个区域中的至少1个所述区域内，各设置至少1个所述中心侧元件以及所述边缘部侧元件。

7.根据权利要求6所述的物理量传感器，其中，

在所述4个区域内，分别各设置至少1个所述中心侧元件以及所述边缘部侧元件。

8.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述中心侧元件以及所述边缘部侧元件在俯视时为长条形状，

所述中心侧元件的长边方向与所述边缘部侧元件的长边方向交叉。

9.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述中心侧元件以及所述边缘部侧元件在俯视时为长条形状，

所述中心侧元件的长边方向的长度小于所述边缘部侧元件的长边方向的长度。

10.根据权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述物理量传感器为检测压力的压力传感器。

11.一种高度计，其特征在于，具有权利要求1所述的物理量传感器。

12.一种电子设备，其特征在于，具有权利要求1所述的物理量传感器。

13.一种移动体，其特征在于，具有权利要求1所述的物理量传感器。