[发明专利]支撑结构和形成支撑结构的方法

说明书

本公开涉及一种保持结构和形成保持结构的方法。公开了一种用于将隔膜固定至载体的结构，包括载体；悬置结构；以及具有配置成将悬置结构固定至载体的圆形凹陷形状的保持结构，其中保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。进一步公开了一种在载体上形成保持结构以支撑悬置结构的方法。方法可以包括：在载体上形成保持结构；在保持结构上形成悬置结构；成形保持结构，以使其具有凹陷形状；以及设置保持结构以使得保持结构的锥形侧边物理地连接至悬置结构。

技术领域

各个实施例涉及一种用于将隔膜固定至载体的渐变结构以及一种用于制造渐变结构的方法。

背景技术

制造能够承受高物理位移的重复周期循环的薄的隔膜的能力对于生产以及进一步小型化多种微机电系统(MEMS)换能器至关重要。这些MEMS换能器系统集成在便携式电子装置的大范围阵列中。在大多数使用这些MEMS换能器系统的便携式电子装置中，小型化对于商业成功至关重要。许多这些系统，特别是基于由于接收到信号或电输入而导致的隔膜偏转的探测和/或产生的换能器，需要非常薄的隔膜悬置在数个支撑结构之间以便于操作。

发明内容

根据各个实施例，公开了一种用于将隔膜固定至载体的结构。结构可以包括：载体；悬置结构；以及配置成将悬置结构固定至载体的保持结构。保持结构可以具有圆化的凹陷形状，以及保持结构的锥形侧面可以物理地连接至悬置结构。

附图说明

在附图中，相同附图标记通常在全部不同视图中涉及相同部件。附图无需按照比例绘制，替代地通常着重点在于示出本发明的原理。在以下说明书中，参照以下附图描述了本发明的各个实施例，其中：

图1A示出了MEMS麦克风的剖视图；

图1B示出了用于处理通过用于将隔膜固定至载体的固定机制而施加在隔膜上应力的当前可应用策略的靠近剖视图。当前技术方案包括使用具有不同刻蚀速率的至少两种材料，使得当刻蚀材料时，产生了由此减小隔膜上应力的狭长锥形结构。

图2示出了根据各个实施例的结构。

图3示出了根据各个实施例的结构。

图4示出了其中如图2所示多个结构已经形成在彼此之上以产生多隔膜堆叠结构的实施例。

图5示出了显示了根据各个实施例的形成结构的方法的流程图。

图6示出了根据各个实施例的MEMS压力传感器或压力感测系统的剖视图。

图7示出了根据各个实施例的MEMS扬声器或扬声器系统的剖视图。

具体实施方式

以下详细说明书涉及附图，借由示例示出了其中可以实施本发明的具体细节和实施例。

词语“示例性”在此用于意味着“用作示例、实例或说明”。在此描述作为“示例性”的任何实施例或设计不必构造为在其他实施例或设计之上的优选或有利的实施例或设计。

关于形成在侧边或表面“之上”的沉积材料而使用的词语“在……之上”可以在此用于意味着沉积的材料可以直接形成在所指的侧边或表面上，例如与其直接接触。关于形成在侧边或表面“之上”的沉积材料使用的词语“在……之上”可以在此用于意味着沉积的材料可以间接形成在所指侧边或表面上，具有一个或多个额外的层设置在所指的侧边或表面与沉积的材料之间。

各个实施例通常涉及一种用于在载体上固定隔膜而同时减小了在固定点处施加在隔膜上应力的结构，以及一种用于形成固定结构的方法。

图1A是MEMS麦克风10的透视剖视图的示意图。在MEMS麦克风10中，有源区域可以包括非常薄(例如具有数百纳米的厚度)的隔膜100，以及悬置在形成于衬底104中空腔105之上的相反电极102。