[发明专利]声表面波温度传感器

权利要求书

1.一种声表面波温度传感器，包括压电陶瓷衬底、反射栅和叉指换能器，其特征在于：所述叉指换能器采用了切比雪夫窗函数作为加权函数的变迹加权设计，反射栅的侧壁为凹型。

2.如权利要求1的声表面波温度传感器，其中，压电陶瓷衬底材料为铌酸锂、钛酸铋钠、钛酸铋钾、铌酸铅钡钠、钛酸铋钡、锆钛酸铅、三硼酸铋、锆钛酸钡钙、钽酸盐型钙钛矿氧化物的任意一种或其组合。

3.如权利要求1的声表面波温度传感器，其中，压电陶瓷衬底厚度为0.3～0.6mm。

4.如权利要求1的声表面波温度传感器，其中，表面粗糙度RMS<＝2.0nm。

5.如权利要求1的声表面波温度传感器，其中，反射栅和叉指换能器材料为金属的单质、金属的合金、金属的导电性氮化物或导电性氧化物。

6.如权利要求5的声表面波温度传感器，其中，所述金属选自Al、Cu、Au、Ag、Ni、Pd、Pt、W、Ti、Ta、Mo、In、Zn、Zr的任意一种或其组合。

7.如权利要求1的声表面波温度传感器，其中，反射栅和叉指换能器厚度为50～100nm。

8.如权利要求1的声表面波温度传感器，其中，反射栅采用了开路型结构。

9.如权利要求1的声表面波温度传感器，其中，器件采用单端口谐振器作为器件的原型结构。

10.如权利要求1的声表面波温度传感器，其中，叉指换能器包括两条沿第一方向分布的母线，以及沿第二方向从母线延伸的交错的多个叉指，多个叉指的长度变化符合切比雪夫窗函数。

11.如权利要求10的声表面波温度传感器，其中，从一条母线延伸的叉指对面具有从另一条母线延伸出的互补叉指，叉指与互补叉指之间具有间隙，互补叉指的长度变化和/或间隙的分布符合切比雪夫窗函数。

12.如权利要求10的声表面波温度传感器，其中，叉指的总数目为30～150个。

13.如权利要求1的声表面波温度传感器，其中，叉指的沿第一方向的间距为10～100微米。