[发明专利]一种干膜抗蚀剂层压体

权利要求书

1.一种干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，包括支撑层、涂覆于支撑层上方的第一抗蚀剂层以及涂覆于第一抗蚀剂层上方的第二抗蚀剂层；所述第一抗蚀剂层的酸值为105.2~128.6 mgKOH/g，第二抗蚀剂层的酸值为115.2~154.4mgKOH/g，并且，第二抗蚀剂层的酸值比第一抗蚀剂层酸值高2~41.2mgKOH/g；

所述第一抗蚀剂层厚度为5~50微米，第二抗蚀剂层厚度为1-10微米；

所述第一抗蚀剂层和第二抗蚀剂层由质量分数为45~70%的含羧基的碱可溶性聚合物、质量分数为15~45%的含有至少一个可聚合的不饱和键单体、质量分数为0.5~10%的光引发剂、质量分数为0.01~5%的添加剂组成。

2.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述含羧基的碱可溶性聚合物由一种或多种含羧基的共聚单元单体，和一种或多种不含羧基基团的共聚单元单体按照任意配比共聚而得；所述含羧基的共聚单元单体选自衣康酸、巴豆酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸半酯、顺丁烯二酸、反丁烯二酸、乙烯基乙酸及其酸酐；所述不含羧基基团的共聚单元单体选自（甲基）丙烯酸甲酯、（甲基）丙烯酸乙酯、（甲基）丙烯酸丙酯、（甲基）丙烯酸异丙酯、（甲基）丙烯酸正丁酯、（甲基）丙烯酸异丁酯、（甲基）丙烯酸异辛酯、（甲基）丙烯酸月桂酯、（甲基）丙烯酸十八酯、（甲基）丙烯酸-2-羟基乙酯、（甲基）丙烯酸-2-羟基丙酯、（甲基）丙烯酸-4-羟基丁酯、聚乙二醇单（甲基）丙烯酸酯、聚丙二醇单（甲基）丙烯酸酯、（甲基）丙烯腈、（甲基）丙烯酸缩水甘油酯、N,N-二甲基（甲基）丙烯酸乙酯、N,N-二乙基（甲基）丙烯酸乙酯、N,N-二甲基（甲基）丙烯酸丙酯、N,N-二乙基（甲基）丙烯酸丙酯、N,N-二甲基（甲基）丙烯酸丁酯、N,N-二乙基（甲基）丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酰胺、N-羟甲基-丙烯酰胺、N-丁氧基甲基-丙烯酰胺、苯乙烯、（甲基）丙烯酸苄酯、苯氧基乙基（甲基）丙烯酸酯、壬基苯酚（甲基）丙烯酸酯。

3.根据权利要求2所述的干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述含羧基的碱可溶性聚合物的重均分子量为10000-200000。

4.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述含有至少一个可聚合的不饱和键单体，选自三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、乙氧基化双酚A二丙烯酸酯、丙氧基化双酚A二丙烯酸酯、甘油三丙酸酯。

5.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述光引发剂为2,4,5-三芳基咪唑二聚体或2,4,5-三芳基咪唑二聚体的衍生物。

6.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述光引发剂由引发剂助剂和2,4,5-三芳基咪唑二聚体或2,4,5-三芳基咪唑二聚体的衍生物按照任意比混合而成；所述引发剂助剂由芳香族酮、醌、安息香化合物、苯偶酰衍生物、吖啶衍生物、 N-苯基氨基乙酸衍生物、香豆素系化合物，恶唑系化合物中的一种或多种按照任意比混合组成。

7.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述添加剂由染料、光成色剂、增塑剂、颜料、填料、消泡剂、阻燃剂、稳定剂、流平剂、剥离促进剂、抗氧化剂、香料、成像剂、热交联剂中的一种或多种按照任意配比混合组成。