[发明专利]用于掩膜板的框架和掩膜板

权利要求书

1.一种用于掩膜板的框架，包括框架本体、以及沿厚度方向贯穿所述框架本体的框架通孔，所述框架本体上形成有用于设置掩膜的第一凹槽，其特征在于，所述第一凹槽具有连续的底面，所述第一凹槽的内侧设置有第二凹槽，所述第二凹槽的底面低于所述第一凹槽的底面，所述第二凹槽用于设置遮挡膜，以使得所述遮挡膜的位置对应于相邻所述掩膜之间的空隙的位置。

2.根据权利要求1所述的框架，其特征在于，所述框架还包括至少一个支撑部，所述支撑部形成在所述第二凹槽上，所述支撑部的位置对应于相邻所述掩膜之间的空隙的位置，且所述支撑部的上表面与所述第一凹槽的底面相平齐，以使得所述掩膜的靠近所述空隙的边缘固定在所述支撑部上。

3.根据权利要求2所述的框架，其特征在于，所述框架上沿每个所述空隙的延伸方向设置有一个所述支撑部，所述支撑部上设置有下凹部，所述下凹部用于容纳所述遮挡膜，并且使所述遮挡膜与所述支撑部共同遮挡所述空隙。

4.根据权利要求2所述的框架，其特征在于，所述框架上沿每个所述空隙的延伸方向设置有两个所述支撑部，两个所述支撑部之间具有间隔，所述间隔用于容纳所述遮挡膜，并且使所述遮挡膜与所述支撑部共同遮挡所述空隙。

5.一种掩膜板，其特征在于，包括权利要求1至4中任意一项所述的框架、设置在所述第一凹槽中的掩膜、以及设置在所述第二凹槽中的遮挡膜，所述掩膜的图形包括掩膜通孔，所述掩膜通孔位于所述框架通孔限定的区域内，所述遮挡膜的位置对应于相邻所述掩膜之间的空隙的位置。

6.根据权利要求5所述的掩膜板，其特征在于，所述框架还包括至少一个支撑部，所述支撑部形成在所述第二凹槽上，所述支撑部的位置对应于相邻所述掩膜之间的空隙的位置，且所述支撑部的上表面与所述第一凹槽的底面相平齐，所述掩膜的靠近所述空隙的边缘固定在所述支撑部上，所述掩膜的其他边缘固定在所述第一凹槽的底面上。

7.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述框架上沿每个所述空隙的延伸方向设置有一个所述支撑部，所述支撑部上设置有下凹部，所述遮挡膜的一部分位于所述下凹部中，并且所述遮挡膜与所述支撑部共同遮挡所述空隙。

8.根据权利要求6所述的掩膜板，其特征在于，所述框架上沿每个所述空隙的延伸方向设置有两个所述支撑部，两个所述支撑部之间具有间隔，所述遮挡膜的一部分位于所述间隔中，并且所述遮挡膜与所述支撑部共同遮挡所述空隙。

9.根据权利要求5至8中任意一项所述的掩膜板，其特征在于，所述框架、所述掩膜和所述遮挡膜均由殷钢或殷钢合金制成，所述掩膜焊接在所述第一凹槽中，所述遮挡膜焊接在所述第二凹槽中。

10.根据权利要求7或8所述的掩膜板，其特征在于，所述遮挡膜的延伸方向与所述空隙的延伸方向垂直。