[发明专利]剥离装置及剥离方法

权利要求书

1.一种剥离装置，用于剥离相互紧贴的第1板状体和第2板状体，其特征在于，具有：

保持装置，保持所述第1板状体，

上游侧剥离装置，具有对所述第2板状体的反紧贴面的一部分进行吸附保持的上游侧吸附部，该反紧贴面是所述第2板状体的表面中的与所述第1板状体相紧贴的面的相反侧的面，一边通过所述上游侧吸附部吸附所述第2板状体一边使所述上游侧吸附部与所述保持装置相分离，来使所述第2板状体的被所述上游侧吸附部吸附的被吸附部位从所述第1板状体剥离，来向剥离进展方向剥离所述第2板状体，

下游侧剥离装置，具有在所述剥离进展方向上的所述被吸附部位的下游侧与所述第2板状体的所述反紧贴相面对地设置的下游侧吸附部，在使所述下游侧吸附部移动至所述第2板状体中的被所述上游侧剥离装置剥离的剥离部位来吸附所述剥离部位处的所述反紧贴面后，使所述下游侧吸附部以吸附所述第2板状体的状态与所述保持装置分离，来向所述剥离进展方向剥离所述第2板状体，

监控装置，监控所述下游侧吸附部与所述第2板状体的所述反紧贴面间的相对位置，

控制装置，基于与由所述监控装置获得的所述相对位置相关的位置信息，控制所述下游侧吸附部开始吸附所述第2板状体。

2.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，

所述下游侧剥离装置具有：

发挥所述下游侧吸附部的作用的第1吸附部及第2吸附部，

第1切换部，在向所述第1吸附部供给负压的状态与停止供给负压的状态之间进行切换，

第2切换部，在向所述第2吸附部供给负压的状态与停止供给负压的状态之间进行切换；

在所述第1吸附部及所述第2吸附部一体地接近所述剥离部位的期间，通过所述第1切换部停止向所述第1吸附部供给负压，另一方面，通过所述第2切换部向所述第2吸附部供给负压，

所述监控装置具有测量所述第2吸附部的压力的压力测量部，将由所述压力测量部测量的压力值作为所述位置信息输出，

所述控制装置根据在所述第1吸附部及所述第2吸附部向所述剥离部位移动的过程中的所述压力值的变化，控制所述第1切换部来开始向所述第1吸附部供给负压。

3.根据权利要求2所述的剥离装置，其特征在于，所述第1吸附部及所述第2吸附部沿着所述第2板状体的与所述剥离进展方向垂直的宽度方向排列。

4.根据权利要求3所述的剥离装置，其特征在于，多个所述下游侧吸附部中的位于所述宽度方向的两端和中央部的所述下游侧吸附部是所述第2吸附部，剩下的所述下游侧吸附部是所述第1吸附部。

5.根据权利要求2所述的剥离装置，其特征在于，所述第2吸附部设置在所述剥离进展方向上的所述第1吸附部的下游侧。

6.根据权利要求5所述的剥离装置，其特征在于，

所述下游侧剥离装置的所述下游侧吸附部具有：

沿着所述第2板状体的与所述剥离进展方向垂直的宽度方向排列的多个所述第1吸附部，

个数比所述第1吸附部少的所述第2吸附部。

7.根据权利要求1所述的剥离装置，其特征在于，

所述下游侧剥离装置具有下游侧切换部，该下游侧切换部在向所述下游侧吸附部供给负压的状态与停止供给负压的状态之间进行切换，在所述下游侧吸附部接近所述剥离部位的期间，停止向所述下游侧吸附部供给负压，

所述监控装置具有距离测量部，所述距离测量部对所述下游侧吸附部向所述剥离部位移动的过程中的所述第2板状体的所述反紧贴面与所述下游侧吸附部之间的距离进行测量来作为所述位置信息，

所述控制装置控制所述下游侧切换部，使得在所述距离为阈值以下的时刻开始向所述下游侧吸附部供给负压。

8.根据权利要求7所述的剥离装置，其特征在于，所述距离测量部是一边与所述下游侧吸附部一体移动一边测量所述距离的位移计。