[发明专利]喷嘴以及涂敷装置

说明书

本发明提供一种喷嘴，其能够有效地除去在流路内流动的涂敷液所含有的气泡。另外，本发明提供一种涂敷装置，其具有上述喷嘴，能够抑制条纹的产生，从而形成高品质的涂膜。喷嘴具备：长条的喷嘴主体；流路，其在喷嘴主体的内部沿着喷嘴主体的长边方向形成，供涂敷液流通；喷出口，其在喷嘴主体中沿着长边方向形成在流路的下方，该喷出口与流路连接，喷出涂敷液；以及除气路，其在喷嘴主体的内部沿着长边方向形成在流路的上方，该除气路在长边方向上连续，并与流路连接，对于流路与除气路之间的分离距离，与长边方向上的喷嘴主体的一端侧的所述分离距离相比，长边方向上的喷嘴主体的另一端侧的所述分离距离更大。

技术领域

本发明涉及喷嘴以及涂敷装置。

背景技术

在构成液晶显示器等的显示面板的玻璃基板上，形成有布线或电极、滤色器等的微细的图案。通常来说，这样的图案通过光刻法等方法来形成。在光刻法中，分别进行在玻璃基板上涂敷形成由抗蚀材料形成的膜(抗蚀膜)的涂敷工序、对该抗蚀膜进行图案曝光的曝光工序、以及之后对该抗蚀膜进行显影的显影工序。

其中，在涂敷工序中，大多情况下使用具有狭缝喷嘴的涂敷装置。作为这样的涂敷装置，例如已知有如下结构：一边以通过狭缝喷嘴的下方的方式搬运玻璃基板，一边涂敷含有抗蚀材料的涂敷液。以下，将含有抗蚀材料的涂敷液称作“抗蚀液”。

狭缝喷嘴形成为例如在形成为长条状的喷嘴主体上设有涂敷液的喷出口的结构。在喷嘴主体的内部形成有与喷出口连接且供涂敷液流通的流路。另外，在喷嘴主体上设有向流路内供给涂敷液的供给口。

此外，作为狭缝喷嘴，已知具有用于排出流路内的气泡的气泡排出口的结构(例如，参照专利文献1)。在专利文献1所述的结构中，流路内的气泡在流路内的涂敷液中借助浮力而上升，从设于喷嘴上方的气泡排出口排出。在这样的具有气泡排出口的狭缝喷嘴中，由于气泡变得不易从喷出口排出，因此在涂膜上不易形成气泡所导致的条纹(日文：スジムラ)，能够形成良好的涂膜。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-142648号公报

由于混入到涂敷液内的气泡中的相对较小的气泡的浮力小，因此难以在涂敷液内流动，大多保持滞留在涂敷液内的状态。例如，抗蚀液大多是高粘度，即便使用上述专利文献1所述的狭缝喷嘴，也难以除去涂敷液所含的小气泡。因此，谋求能够有效地除去涂敷液所含有的气泡的喷嘴的结构。

发明内容

发明要解决的课题

本发明是鉴于上述情况而作出的，其目的在于，提供一种能够有效地除去在流路内流动的涂敷液所含有的气泡的喷嘴。另外，其目的还在于，提供一种具有上述喷嘴、且能够抑制条纹的产生并形成高品质的涂膜的涂敷装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述的课题，本发明的一技术方案提供一种喷嘴，其具备：长条的喷嘴主体；流路，其在所述喷嘴主体的内部沿着所述喷嘴主体的长边方向形成，供涂敷液流通；喷出口，其在所述喷嘴主体中沿着所述长边方向形成在所述流路的下方，该喷出口与所述流路连接，喷出所述涂敷液；以及除气路，其在所述喷嘴主体的内部沿着所述长边方向形成在所述流路的上方，该除气路在所述长边方向上连续，并与所述流路连接，对于所述流路与所述除气路之间的分离距离，与所述长边方向上的所述喷嘴主体的一端侧的所述分离距离相比，所述长边方向上的所述喷嘴主体的另一端侧的所述分离距离更大。

在本发明的一技术方案的基础上，也可以设为如下结构：该喷嘴在所述喷嘴主体的内部还具有第一连接路，该第一连接路在所述流路与所述除气路之间沿着所述长边方向形成，将所述流路与所述除气路连接起来，所述流路形成为，所述流路的内壁的最高位置是所述第一连接路与所述流路的连接位置。