[发明专利]喷嘴以及涂敷装置

权利要求书

1.一种喷嘴，其中，

该喷嘴具备：

长条的喷嘴主体；

流路，其在所述喷嘴主体的内部沿着所述喷嘴主体的长边方向形成，供涂敷液流通；

喷出口，其在所述喷嘴主体中沿着所述长边方向形成在所述流路的下方，该喷出口与所述流路连接，喷出所述涂敷液；以及

除气路，其在所述喷嘴主体的内部沿着所述长边方向形成在所述流路的上方，该除气路在所述长边方向上连续，并与所述流路连接，

对于所述流路与所述除气路之间的分离距离，与所述长边方向上的所述喷嘴主体的一端侧的所述分离距离相比，所述长边方向上的所述喷嘴主体的另一端侧的所述分离距离更大。

2.根据权利要求1所述的喷嘴，其中，

该喷嘴在所述喷嘴主体的内部还具有第一连接路，该第一连接路在所述流路与所述除气路之间沿着所述长边方向形成，将所述流路与所述除气路连接起来，

所述流路形成为，所述流路的内壁的最高位置是所述第一连接路与所述流路的连接位置。

3.根据权利要求1或2所述的喷嘴，其中，

该喷嘴在所述喷嘴主体的内部还具有第二连接路，该第二连接路在所述流路与所述喷出口之间沿着所述长边方向形成，将所述流路与所述喷出口连接起来，

所述流路形成为，所述流路的内壁的最低位置低于所述第二连接路与所述流路的连接位置。

4.根据权利要求1或2所述的喷嘴，其中，

所述分离距离随着从所述一端侧趋向所述另一端侧而逐渐递增。

5.根据权利要求1或2所述的喷嘴，其中，

所述流路形成为直线状。

6.根据权利要求1或2所述的喷嘴，其中，

所述除气路形成为直线状。

7.一种涂敷装置，具备：

基板搬运部，其搬运基板；以及

涂敷部，其具有权利要求1至6中任一项所述的喷嘴，将涂敷液从所述喷嘴向被搬运的所述基板涂敷。