[发明专利]基板处理装置的异常检测装置、及基板处理装置

说明书

本发明提供一种使基板处理装置的异常的检测精度提高的基板处理装置的异常检测装置、及基板处理装置。异常检测装置(520)包括数据收集部(522)，数据收集部(522)收集由设于CMP装置的传感器(270‑1～270‑a、370‑1～370‑b、470‑1～470‑c)所检测的数据。此外，异常检测装置(520)包括判定部(524)，判定部(524)从储存有规定关于CMP装置的基板处理工序或方法的选单数据的选单存储部(512)读取选单数据，比较读取的选单数据与由数据收集部(522)所收集的数据，存在差异的情况下，判定为CMP装置有异常。

技术领域

本发明涉及一种基板处理装置的异常检测装置、及基板处理装置。

背景技术

近年来，为了对半导体晶圆等基板进行各种处理而使用基板处理装置。基板处理装置的一例可列举用于进行基板的研磨处理的CMP(化学机械研磨(Chemical MechanicalPolishing))装置。

CMP装置包括：用于进行基板的研磨处理的研磨单元；用于进行基板的洗净处理及干燥处理的洗净单元；及对研磨单元交接基板，并且接收由洗净单元实施洗净处理及干燥处理后的基板的装载/卸除单元等。此外，CMP装置包括在研磨单元、洗净单元及装载/卸除单元中进行基板的输送的输送单元。CMP装置一边通过输送单元输送基板，一边依序进行研磨、洗净及干燥的各种处理。

另外，CMP装置等基板处理装置已知有检测基板处理装置的动作有无异常的技术。例如，基板处理装置的操作用计算机(PC)中储存有规定关于基板处理的工序或方法的选单数据。操作用计算机对各单元的序列发生器输出基于选单数据的基板处理指令。各单元的序列发生器通过基于从操作用计算机所输出的选单数据来控制单元中的各零件，来实现按照选单数据的处理。

在此，例如研磨单元的序列发生器从操作用计算机所接收的选单数据的内容是“每单位时间流出50mL的研磨液”。此时，研磨单元的序列发生器控制研磨单元中各零件，使研磨液每单位时间流出50mL。此外，在研磨单元中设有研磨液的流量传感器，以检测研磨液的流量。序列发生器比较由流量传感器所检测的研磨液流量与选单数据的流量(50mL)。若比较结果无差异，或差异程度在预设的阈值以内的话，序列发生器判定基板处理装置(研磨单元)无异常。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利特开2011-143537号公报

发明内容

发明所要解决的课题

但是，现有技术并未考虑到使基板处理装置的异常的检测精度提高。

例如，以往的异常检测方法中，在从操作用计算机对各单元的序列发生器输出选单数据的过程，因某些原因而发生选单数据内容改变等的异常的情况下，检测该异常困难。

例如，储存于操作用计算机的选单数据的内容是“每单位时间流出60mL的研磨液”。此时，在从操作用计算机输出选单数据至研磨单元的序列发生器的过程，因某些异常而改变成“每单位时间流出50mL的研磨液”的内容。于是，现有技术如上述那样比较序列发生器所接收的选单数据内容与由流量传感器所检测的流量，判定基板处理装置有无异常。因此，若流量传感器所检测的流量为50mL的话则判定为无异常。其结果，原本每单位时间应流出60mL的研磨液，尽管实际上每单位时间流出50mL的研磨液，可能对基板处理装置的动作仍判定为无异常。

因此，本发明的课题为使基板处理装置的异常的检测精度提高。

用于解决课题的手段