[发明专利]移载方法、保持装置及移载系统

说明书

技术领域

本发明涉及移载方法、保持装置及移载系统。

背景技术

在向处理装置等输送基板时，如柔性基板的那样比较薄的基板存在产生翘度的情况，存在其输送困难的情况。因此，在由载体保持了基板的状态下向输送目的地输送的方案已被提出。在此情况下，需要从载体仅将基板取出向处理装置等移载的结构。在日本特开2010-272650号公报中，公开了一种将基板的罩卸下并由销顶起基板而取出的装置。

在日本特开2010-272650号公报的装置中，需要去掉罩进行移动的工序和取出基板进行移动的工序的2个工序，在基板的移载的效率的方面存在改善的余地。

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的目的，在于提高基板的移载效率。

为了解决课题的手段

根据本发明，提供一种移载方法，是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体，移载被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板的移载方法，其特征在于，包含：由保持装置保持上述载置部上的上述基板及上述罩的保持工序；和通过移动上述保持装置，从载置部向移载目的地移动上述基板及上述罩的移动工序，在上述保持工序中，以上述罩和上述基板平行的姿势，由上述保持装置的罩保持单元保持上述罩，由上述保持装置的基板保持单元保持上述基板。

另外，根据本发明，提供一种保持装置，是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体，保持被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板和上述罩的装置，其特征在于，具备：保持上述罩的罩保持单元；保持上述基板的基板保持单元；和对上述罩保持单元及上述基板保持单元进行支承的支承单元，上述支承单元，以上述罩保持单元在与上述载体接近或离开的方向可位移的方式支承上述罩保持单元。

另外，根据本发明，提供一种移载系统，是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体，移载被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板的移载系统，其特征在于，具备：将上述载体的上述载置部定位而保持的定位单元；将上述罩从被保持在上述定位单元上的上述载体的上述载置部分离的分离单元；上述保持装置；和移动上述保持装置的移动装置。

本发明的更多的特征将从下述的具体的实施方式(同时参照附图)的描述中明确。

附图说明

图1是适用了本发明的一实施方式的移载系统的基板处理设备的概要图。

图2是图1的移载系统的概要图。

图3是图1的移载系统具备的载体处理装置的概要图。

图4A及图4B是图1的移载系统具备的保持装置的概要图。

图5A及图5B是罩保持单元的概要图。

图6A及图6B是基板保持单元的概要图。

图7是控制单元的框图。

图8A及图8B是图1的移载系统的动作说明图。

图9A及图9B是图1的移载系统的动作说明图。

图10A及图10B是图1的移载系统的动作说明图。

图11A及图11B是图1的移载系统的动作说明图。

图12是图1的移载系统的动作说明图。

图13A及图13B是图1的移载系统的动作说明图。

图14是另一例的保持装置的概要图。

图15A及图15B是另一例的保持装置的基板保持单元的概要图。

图16A及图16B是另一例的保持装置的动作说明图。

图17A及图17B是另一例的保持装置的动作说明图。

图18是另一例的保持装置的动作说明图。

具体实施方式

为了实施发明的方式

＜第一实施方式＞

下面，对本发明的实施方式进行说明。在各图中，箭头Y表示上下方向，箭头X及Z表示相互正交的水平方向。

＜基板处理设备＞

图1是适用了本发明的一实施方式的移载系统1的基板处理设备A的概要图。基板处理设备A，具备移载系统1、容纳装置2、处理装置3和处理装置4。

容纳装置2可容纳多个后述的载体5。载体5是用于保持基板的器具。基板，例如可举出以FPC(柔性印刷基板)为代表的具有可挠性的薄膜状基板，或者，具有可挠性的膜体，具有可挠性的片材体及具有可挠性的箔体等。在容纳装置2中，能容纳保持了基板W的载体5或者取出了基板W的空的载体5。容纳装置2，是进行载体5的相对于移载系统1的供给和来自移载系统1的载体5的回收的装置。