[发明专利]移载方法、保持装置及移载系统

权利要求书

1.一种移载方法，是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体，移载被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板的移载方法，其特征在于，包含：

由保持装置保持上述载置部上的上述基板及上述罩的双方的保持工序；和

通过移动保持上述基板及上述罩的双方的上述保持装置，将上述基板及上述罩从上述载置部分离地向移载目的地移动的移动工序，

在上述保持工序中，

以上述罩和上述基板平行的姿势，由上述保持装置的罩保持单元保持上述罩，由上述保持装置的基板保持单元保持上述基板。

2.如权利要求1记载的移载方法，其特征在于，

在上述保持工序中，

上述罩保持单元吸附上述罩，

上述基板保持单元吸附上述基板，并且由规定构件进行基板的定位。

3.如权利要求1记载的移载方法，其特征在于，

在上述保持工序中，

上述罩保持单元吸附上述罩，

上述基板保持单元对上述基板进行非接触吸附，并且限制被进行了非接触吸附的上述基板的向基板面方向的自由移动。

4.如权利要求1记载的移载方法，其特征在于，

在上述保持工序中，

上述基板保持单元保持上述基板的不与上述罩重叠的部分。

5.如权利要求1记载的移载方法，其特征在于，还包含：

将由上述移动工序向上述移载目的地移动了的上述基板及上述罩之中的上述基板的保持解除，向移载目的地载置上述基板的工序；

使仅保持上述罩的上述保持装置向移载起始地的上述载置部移动的工序；和

将上述罩重叠在移载起始地的上述载置部上面上的工序。

6.如权利要求5记载的移载方法，其特征在于，还包含：

将移载起始地的上述载置部和重叠在上述载置部上的上述罩输出，将新的上述载体输入的输入输出工序。

7.一种保持装置，是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体，保持被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板和上述罩的装置，其特征在于，具备：

保持上述罩的罩保持单元；

保持上述基板的基板保持单元；和

对上述罩保持单元及上述基板保持单元进行支承的支承单元，

上述支承单元，

以上述罩保持单元在与上述载体接近或离开的方向可位移的方式支承上述罩保持单元。

8.如权利要求7记载的保持装置，其特征在于，

上述支承单元，具备：

在与上述载体接近或离开的方向浮动支承上述罩保持单元的浮动机构。

9.如权利要求7记载的保持装置，其特征在于，

上述罩保持单元，具备：

吸附上述罩的吸附部；和

与上述罩抵接而规定上述罩的吸附方向的位置的罩规定构件。

10.如权利要求7记载的保持装置，其特征在于，

上述罩保持单元，具备：

吸附上述罩的吸附部；和

与上述载置部卡合而将上述罩保持单元相对于上述载体定位的定位构件。

11.如权利要求7记载的保持装置，其特征在于，

上述基板保持单元，具备：

对上述基板进行非接触吸附的吸附部；和

限制被进行了非接触吸附的上述基板的向基板面方向的自由移动的限制单元。

12.如权利要求11记载的保持装置，其特征在于，

上述支承单元，具备对上述基板保持单元进行支承的支承部，

上述限制单元，具备在与上述基板面方向正交的方向伸缩自由地突出的限制部。

13.一种移载系统，是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体，移载被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板的移载系统，其特征在于，具备：

将上述载体的上述载置部定位而保持的定位单元；

将上述罩从被保持在上述定位单元上的上述载体的上述载置部分离的分离单元；

权利要求7记载的保持装置；和

移动上述保持装置的移动装置。