[发明专利]一种吸附装置及其工作方法

权利要求书

1.一种吸附装置，其特征在于，包括承载模块、电源模块、温度检测模块和电压控制模块，所述承载模块分别与所述电源模块和所述温度检测模块连接，所述电源模块与所述电压控制模块连接，所述温度检测模块与所述电压控制模块连接；

所述承载模块用于吸附并承载基片；

所述电源模块用于向所述承载模块加载直流电压以使所述承载模块产生吸附力；

所述温度检测模块用于检测所述承载模块的温度；

所述电压控制模块用于根据所述温度控制所述电源模块输出的直流电压，以使所述吸附力为恒定值。

2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，还包括反向模块，所述反向模块分别与所述承载模块和所述电源模块连接；

所述反向单元用于将所述直流电压的极性反向，以使所述承载模块产生与所述吸附力相反的作用力。

3.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述电压控制模块还用于当所述温度比预定温度高时，控制所述电源模块降低所述直流电压，当所述温度比预定温度低时，控制所述电源模块提高所述直流电压。

4.根据权利要求2所述的吸附装置，其特征在于，还包括时间控制模块，所述时间控制模块分别与所述承载模块和所述反向模块连接；

所述时间控制模块用于当所述直流电压的极性反向时，根据所述温度控制极性反向的直流电压的施加时间，以中和所述承载模块的电荷。

5.根据权利要求4所述的吸附装置，其特征在于，所述时间控制模块还用于当所述温度比预定温度高时，控制所述极性反向的直流电压的施加时间大于预定时间，当所述温度比预定温度低时，控制所述极性反向的直流电压的施加时间小于所述预定时间。

6.一种吸附装置的工作方法，其特征在于，所述吸附装置包括承载模块、电源模块、温度检测模块和电压控制模块，所述承载模块分别与所述电源模块和所述温度检测模块连接，所述电源模块与所述电压控制模块连接，所述温度检测模块与所述电压控制模块连接；

所述工作方法包括：

所述承载模块吸附并承载基片；

所述电源模块向所述承载模块加载直流电压以使所述承载模块产生吸附力；

所述温度检测模块检测所述承载模块的温度；

所述电压控制模块根据所述温度控制所述电源模块输出的直流电压，以保持所述吸附力恒定。

7.根据权利要求6所述的吸附装置的工作方法，其特征在于，所述吸附装置还包括反向模块，所述反向模块分别与所述承载模块和所述电源模块连接；

所述工作方法还包括：

所述反向单元将所述直流电压的极性反向，以使所述承载模块产生与所述吸附力相反的作用力。

8.根据权利要求6所述的吸附装置的工作方法，其特征在于，所述电压控制模块根据所述温度控制所述电源模块输出的直流电压的步骤包括：

当所述温度比预定温度高时，所述电压控制模块控制所述电源模块降低所述直流电压；

当所述温度比预定温度低时，所述电压控制模块控制所述电源模块提高所述直流电压。

9.根据权利要求7所述的吸附装置的工作方法，其特征在于，所述吸附装置还包括时间控制模块，所述时间控制模块分别与所述承载模块和所述反向模块连接；

所述工作方法还包括：

当所述直流电压的极性反向时，所述时间控制模块根据所述温度控制极性反向的直流电压的施加时间，以中和所述承载模块的电荷。

10.根据权利要求9所述的吸附装置的工作方法，其特征在于，所述当所述直流电压的极性反向时，所述时间控制模块根据所述温度确定极性反向的直流电压的施加时间的步骤包括：

当所述温度比预定温度高时，所述时间控制模块控制所述极性反向的直流电压的施加时间大于预定时间；

当所述温度比预定温度低时，所述时间控制模块控制所述极性反向的直流电压的施加时间小于所述预定时间。