[其他]溅镀靶材组件有效
| 申请号： | 201490000406.3 | 申请日： | 2014-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN205275690U | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 细川昭弘;J·M·怀特;任东吉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01L21/203 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 黄嵩泉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅镀靶材 组件 | ||
1.一种溅镀靶材组件，所述溅镀靶材组件包括：
背管；以及
溅镀靶材，所述溅镀靶材被耦接至所述背管，所述溅镀靶材包含锌及分散在所述锌中的一或多个掺杂物。
2.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述一或多个掺杂物分散在所述锌中，并且具有约1纳米至约5微米之间的平均颗粒大小。
3.根据权利要求2所述的组件，其特征在于，所述一或多个掺杂物是随所述锌一起铸造。
4.根据权利要求2所述的组件，其特征在于，所述一或多个掺杂物和所述锌被喷涂至所述背管上。
5.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述一或多个掺杂物分散在所述锌中，并且具有约1纳米至约5微米之间的平均颗粒大小。
6.根据权利要求5所述的组件，其特征在于，所述一或多个掺杂物是随所述锌一起铸造。
7.根据权利要求5所述的组件，其特征在于，所述一或多个掺杂物和所述锌被喷涂至所述背管上。
8.根据权利要求1所述的组件，其特征在于，所述一或多个掺杂物分散在所述锌中，并且具有约1纳米至约5微米之间的平均颗粒大小。
9.根据权利要求8所述的组件，其特征在于，所述一或多个掺杂物是随所述锌一起铸造。
10.一种溅镀靶材组件，所述溅镀靶材组件包括：
背管；
第一溅镀靶材，所述第一溅镀靶材被耦接至所述背管，并包含锌；以及
第二溅镀靶材，所述第二溅镀靶材被耦接至所述背管，邻近所述第一溅镀靶材设置，并且包含一或多个掺杂物的层。
11.根据权利要求10所述的组件，其特征在于，所述第一溅镀靶材具有第一长度，所述第二溅镀靶材具有第二长度，其中所述第一长度大于所述第二长度。
12.根据权利要求11所述的组件，所述组件还包括耦接至所述背管的第三溅镀靶材，所述第三溅镀靶材邻近所述第二溅镀靶材设置，使得所述第二溅镀靶材设置在所述第一溅镀靶材与所述第三溅镀靶材之间，并包含锌。
13.根据权利要求12所述的组件，其特征在于，所述第一长度约为所述第二长度两倍。
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