[发明专利]传感器装置

说明书

在现有的传感器装置中，存在难以兼顾汽车用传感器装置的输出端子所要求的EMC耐性和ESD耐性的问题。为此，本发明的一实施例的传感器装置(1)包括：提供电源的电源端子(2)和接地端子(3)；电特性与物理量相应地变化的传感元件(4)；处理来自传感元件(4)的输出信号的信号处理集成电路(14)；和输出由信号处理集成电路(14)处理后的输出信号的输出端子。另外，信号处理集成电路(14)包括：处理来自传感元件(4)的输出信号的信号处理电路(14)；连接于输出端子(4)与信号处理电路(14)之间的配置在绝缘膜上的电阻元件(6)；连接于输出端子(16)与接地端子(4)之间的彼此反向地串联连接的二极管元件(1、6)；和连接于电阻元件(8)的信号处理电路(1)侧与接地端子(3)之间的电容元件(12)。

技术领域

本发明涉及汽车用传感器装置。

背景技术

近年来，期望具有输出端子的EMC(Electro Magnetic Compatibility：电磁兼容性)耐性高的传感器装置。作为提高EMC耐性的技术的现有例子，有例如专利文献1所记载的半导体集成电路等。图12表示现有的EMC耐性提高电路的结构。现有的EMC耐性提高电路38包括：提供电源的电源端子39和接地端子40；输出电路41；向外部输出来自输出电路41的输出信号的输出端子44；配置在输出电路41与输出端子44之间的电阻元件43；和连接于电阻元件43的输出电路41侧与接地端子40之间的电容元件42。如图13所示，公开了电阻元件43通过将配置在绝缘膜45之上的多晶硅薄膜或者金属薄膜图案化而形成，上述绝缘膜45配置在半导体衬底46上。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-232606号公报

发明要解决的技术问题

在专利文献1所记载的现有技术中，关于汽车用传感器所要求的对于过大的电波照射和强的静电施加的ESD(Electrostatic Discharge：静电放电)耐性，还存在研讨的余地。

在汽车用传感器装置中，在输出端子44连接有长度数米的配线。另外，在该配线的附近有产生强电磁波的发动机或启动马达(Cell motor)等的器件，通过由这些器件产生的电磁波，对传感器装置的配线激励数十伏的高频电压。因此，输出端子44被施加数十伏的高频电压，根据情况会使传感器装置损坏。另外，近年来的汽车中，因为在驱动系统中也使用马达，所以电磁波噪声进一步变大。

图14中表示照射了电磁波时的输出端子44的波形。图14中Vint表示输出电路41的输出电压，Vout表示输出端子44的电压。当照射电磁波时，以Vint的电压为中心对输出端子44叠加数十伏的高频电压。但是，Vout的电压的直流成分与Vint一致。因此，在传感器装置的接收装置侧经由LPF(Low Pass Filter：低通滤波器)读取，由此能够准确地读取输出电路41的输出电压Vint。

接着，关于现有的ECM耐性提高电路38的相对静电的耐性进行说明。在汽车用传感器装置中，有时对输出端子44施加汽车自身所带的静电。图15中表示对输出端子44施加了静电时的输出端子44的波形。在施加了静电的情况下，以短时间对输出端子44施加几百伏的电压。但是，在利用了精细处理的集成电路中，如图13所示的绝缘膜45的薄膜化推进，绝缘膜45的耐压降低。因此，在现有的EMC耐性提高电路38中，存在由于静电的施加而损坏电阻元件43的问题。