[发明专利]用于射频功率应用的可变功率电容器

权利要求书

1.一种功率电容器(7)，其用于能够工作在至少50瓦的RF功率应用，所述功率电容器包括由一个电容器电介质(17)分开的至少两个RF电极(18、19)，所述电容器电介质(17)包括一种固体介电材料，

其特征在于

所述固体介电材料具有可控的相对介电常数(1)，

其中所述电容器电介质(17)的所述相对介电常数(1)可通过改变加在所述电容器电介质(17)的至少一部分上的一个DC偏压(12)而得到控制，

其中所述电容器电介质包括一个厚度至少0.1mm的所述固体介电材料的块。

2.如权利要求1所述的功率电容器(7)，其中所述电容器电介质(17)包括至少两个DC偏压电极(26、27、28)，且其中所述相对介电常数(1)可通过改变加在所述DC偏压电极(26、27、28)上的一个DC偏压(4、12)而得到控制。

3.如权利要求2所述的功率电容器(7)，其中所述DC偏压电极(26、27、28)中的至少一个被形成为所述电容器(7)的RF电极(18、19)之一的形式。

4.如前述权利要求中任一项所述的功率电容器(7)，其中所述电容器电介质(17)包括厚度为至少0.1mm的所述固体介电材料的块、片或盘。

5.如权利要求1-3中任一项所述的功率电容器(7)，其中所述固体介电材料包括顺电陶瓷材料。

6.如权利要求5所述的功率电容器(7)，其中所述顺电陶瓷材料包括一钛酸钡锶。

7.如权利要求6所述的功率电容器(7)，其中所述顺电陶瓷材料被形成为整体烧结的块。

8.如权利要求2至3中任一项所述的功率电容器(7)，其中所述RF电极(18、19)中的至少一个和/或所述DC偏压电极中的至少一个被包围在所述电容器电介质(17)内。

9.如权利要求1-3中任一项所述的功率电容器，其中将所述电容器电介质(17)被熔接、焊接或钎焊于所述RF电极(18、19)中的至少一个和/或一个基板的一个导电台或导电轨或电路板的一个导电台或导电轨上。

10.第一复合电容器(7、7_A、7_B)，其包括一个第一功率电容器(7₁、7_A1、7_B1)和一个第二功率电容器(7₂、7_A2、7_B2)，其中：

所述第一功率电容器(7₁、7_A1、7_B1)是如权利要求1至9中任一项所述的功率电容器，

所述第二功率电容器(7₂、7_A2、7_B2)是如权利要求1至9中任一项所述的功率电容器，

所述第一及第二功率电容器被设置成共用一个共同介电常数控制电压节点(10)，该共同介电常数控制电压节点(10)用于连接至一可变DC偏压源(V_DC)，所述可变DC偏压源(V_DC)用于改变所述第一功率电容器(7₁、7_A1、7_B1)及第二功率电容器(7₂、7_A2、7_B2)的对应电容器电介质(17)的可调相对介电常数(ε_r1、ε_r2)。

11.如权利要求10所述的第一复合电容器，其包括至少一个解耦元件(15、16)，所述解耦元件经用于使所述DC偏压源(V_DC)与所述共同介电常数控制电压节点(10)处的RF电压和/或RF电极(18、19)中的至少一个处的RF电压解耦。