[发明专利]柔性导电轨道装置和制造方法

权利要求书

1.一种具有预弯条件的柔性导电轨道装置，所述预弯条件包括无应力配置，所述柔性导电轨道装置在所述无应力配置中被制造，其中在所述预弯条件中所述柔性导电轨道装置在第一平面中一般是平面的，并且包括：

由金属层（20）形成的导电轨道的集合；

导电轨道上方的第一绝缘体层（22）；以及

导电轨道下方的第二绝缘体层（22），

其中导电轨道在第一平面中延伸并且垂直于第一平面而局部起皱，从而形成褶皱。

2.如权利要求1中所要求保护的柔性导电轨道装置，其中褶皱具有0.5到10μm的范围中的高度（h）。

3.如权利要求2中所要求保护的柔性导电轨道装置，其中褶皱具有1到2μm的范围中的高度（h）。

4.如权利要求1-3中任一项所要求保护的柔性导电轨道装置，其中褶皱具有5到50μm的范围中的间距（p）。

5.如权利要求4中所要求保护的柔性导电轨道装置，其中褶皱具有5到10μm的范围中的间距（p）。

6.如权利要求1-3和5中任一项所要求保护的柔性导电轨道装置，其中导电轨道长度在10cm到40cm的范围中。

7.如权利要求1-3和5中任一项所要求保护的柔性导电轨道装置，其中导电轨道的集合包括10到30个轨道。

8.如权利要求1-3和5中任一项所要求保护的柔性导电轨道装置，其中导电轨道的集合具有0.2和1.0 mm之间的总体宽度。

9.如权利要求1-3和5中任一项所要求保护的柔性导电轨道装置，其中第一和第二绝缘体层中的每一个包括邻近金属层的陶瓷子层（22）和外部聚合物子层（24）。

10.一种导体装置，包括：

载体（12）；以及

缠绕载体的如权利要求1-9中任一项所要求保护的柔性导电轨道装置。

11.如权利要求10中所要求保护的导体装置，其中载体包括具有管状或柱状形状的区段。

12.如权利要求11中所要求保护的导体装置，其中在区段内的至少一个位置中，载体包括具有小于1mm或小于0.5mm的横截面直径的横截面。

13.如权利要求12中所要求保护的导体装置，其中横截面是圆形的并且横截面尺寸是直径。

14.一种用于感测和/或刺激神经元的设备，设备包括：

信号源；

传感器和/或刺激单元，以及

连接到信号源和传感器和/或刺激单元的、如权利要求10至13中的任一项所要求保护的导体装置。

15.如权利要求14中所要求保护的设备，其中传感器和/或刺激单元集成在柔性导体轨道装置中。

16.一种形成柔性导电轨道装置的方法，包括：

提供第一衬底（50）；

提供衬底之上的蚀刻停止层（52）；

提供蚀刻停止层之上的阶梯层（54）；

形成阶梯层上方的第一绝缘体层（56）；

形成第一绝缘体层之上的金属层（58）并且将其图案化以形成细长导电轨道；以及

形成金属层（58）之上的第二绝缘体层（60）；

在第二绝缘体层（60）上方，使用可溶解粘合剂将结构键合到第二衬底（64）；

蚀刻掉第一衬底至所述蚀刻停止层（52）；

蚀刻所述蚀刻停止层和阶梯层（54）；以及

溶解粘合剂以移除第二衬底（64），

其中细长导电轨道一般是平面的但是以对应于阶梯层的形状垂直于平面而局部起皱。