[发明专利]可移除式隔离阀屏蔽插入组件有效

专利信息
申请号: 201480053210.5 申请日: 2014-09-25
公开(公告)号: CN105580106B 公开(公告)日: 2018-07-31
发明(设计)人: 布莱恩·威德 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 隔离 屏蔽 插入 组件
【权利要求书】:

1.一种用于隔离阀的屏蔽插入组件,所述屏蔽插入组件包含:

石墨第一屏蔽插入件,所述石墨第一屏蔽插入件的形状为平环,所述第一屏蔽插入件包含:

圆形外径;

长孔,所述长孔形成为穿过所述第一屏蔽插入件;以及

至少两个紧固件孔,所述至少两个紧固件孔形成为穿过所述第一屏蔽插入件,并且所述至少两个紧固件孔配置为将所述第一屏蔽插入件耦接至第一屏蔽支撑件。

2.如权利要求1所述的屏蔽插入组件,所述屏蔽插入组件包含:

第一屏蔽支撑件,所述第一屏蔽支撑件具有槽口,所述槽口配置为配合所述第一屏蔽插入件的所述圆形外径。

3.如权利要求2所述的屏蔽插入组件,其中由石墨或铝制成所述第一屏蔽支撑件。

4.如权利要求2所述的屏蔽插入组件,其中所述第一屏蔽支撑件的所述槽口与所述第一屏蔽插入件形成搭接。

5.如权利要求2所述的屏蔽插入组件,其中所述第一屏蔽支撑件的厚度等于所述第一屏蔽插入件的厚度。

6.如权利要求1所述的屏蔽插入组件,所述屏蔽插入组件进一步包含:

第一屏蔽支撑件,所述第一屏蔽支撑件具有孔,所述孔配置为接收并配合所述第一屏蔽插入件的所述圆形外径;

第二屏蔽插入件,所述第二屏蔽插入件具有长孔;以及

第二屏蔽支撑件,所述第二屏蔽支撑件具有配置为配合所述第二屏蔽插入件的孔,所述第二屏蔽插入件的尺寸被设定为适合穿过所述第一屏蔽支撑件的所述孔。

7.如权利要求6所述的屏蔽插入组件,其中由石墨制成所述第二屏蔽插入件。

8.如权利要求6所述的屏蔽插入组件,其中所述第二屏蔽插入件为椭圆形。

9.如权利要求6所述的屏蔽插入组件,其中所述第二屏蔽插入件进一步包含:

厚度,所述厚度朝着所述第二屏蔽插入件的所述长孔逐渐变薄。

10.如权利要求6所述的屏蔽插入组件,其中所述第二屏蔽插入件进一步包含:

外壁,所述外壁大于所述第二屏蔽支撑件的所述孔。

11.一种隔离阀,包含:

阀外壳,所述外壳具有孔与封闭构件,所述封闭构件可移动地设置于所述外壳中;

第一屏蔽插入组件,所述第一屏蔽插入组件耦接至所述外壳的第一侧,所述第一屏蔽插入组件具有第一屏蔽支撑件与第一屏蔽插入件,所述第一屏蔽支撑件耦接至所述外壳,而所述第一屏蔽插入件可移除地耦接至所述第一屏蔽支撑件的孔,所述第一屏蔽插入件具有长孔;

第二屏蔽插入组件,所述第二屏蔽插入组件耦接至所述外壳的第二侧,所述第二屏蔽插入组件具有第二屏蔽支撑件与第二屏蔽插入件,所述第二屏蔽支撑件耦接至所述外壳,而所述第二屏蔽插入件可移除地耦接至所述第二屏蔽支撑件的孔,所述第二屏蔽插入件具有与所述第一屏蔽插入件的所述长孔对齐的长孔,所述第二屏蔽插入件的尺寸被设定为适合穿过所述第一屏蔽支撑件的所述孔;以及

其中所述封闭构件在使所述多个长孔开启及关闭的位置之间是可移动的。

12.如权利要求11所述的隔离阀,其中由石墨制成所述第一屏蔽插入件与所述第二屏蔽插入件。

13.如权利要求11所述的隔离阀,其中由石墨或铝制成所述第一屏蔽支撑件与所述第二屏蔽支撑件。

14.如权利要求11所述的隔离阀,其中可从所述外壳的所述第一侧,存取将所述第二屏蔽支撑件耦接至所述第二屏蔽插入件的紧固件。

15.如权利要求14所述的隔离阀,其中可从所述外壳的所述第一侧,存取将所述第一屏蔽支撑件耦接至所述第一屏蔽插入件的紧固件。

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