[发明专利]用于传送基板的气动终端受动器装置、基板传送系统与方法

权利要求书

1.一种终端受动器装置，包括：

基部，所述基部适于连接到机器人部件；及

气动吸力元件，所述气动吸力元件定位于所述基部上，所述气动吸力元件包括耦接至所述基部的主体、耦接至所述主体或所述基部的接触垫、内凹部、环绕所述内凹部并设置在所述主体和所述基部之间的环形流动通道、位于所述环形流动通道和所述内凹部之间的导件部分、和一个或多个流动口，所述一个或多个流动口在所述环形流动通道和所述内凹部之间连接并穿过所述导件部分；

其中所述气动吸力元件适于提供向下吸力用于吸引基板与所述接触垫有增加的接触力，所述增加的接触力超过所述基板的重力所提供的接触力。

2.如权利要求1所述的终端受动器装置，包括多个定位于所述基部上的气动吸力元件。

3.如权利要求1所述的终端受动器装置，其中所述向下吸力是至少1lb。

4.如权利要求1所述的终端受动器装置，其中所述基部包括第一层和第二层，并且气动通道形成在所述第一层和所述第二层之间。

5.如权利要求1所述的终端受动器装置，包括至少部分形成于所述基部内的气动通道。

6.如权利要求1所述的终端受动器装置，其中所述基部进一步包括第一层和第二层，及至少一个气动通道形成于所述第一层和所述第二层之间并向所述气动吸力元件延伸。

7.如权利要求1所述的终端受动器装置，其中所述环形流动通道与气动通道相互连接。

8.如权利要求1所述的终端受动器装置，其中进入所述内凹部的所述一个或多个流动口与所述内凹部的外壁实质地相切。

9.一种用于在电子器件制造系统部件之间传送基板的基板传送系统，包括：

机器人部件；及

终端受动器，所述终端受动器与所述机器人部件耦接，所述终端受动器包含：基部，所述基部适于与所述机器人部件连接，及

气动吸力元件，所述气动吸力元件定位在所述基部上，所述气动吸力元件包括耦接至所述基部的主体、耦接至所述主体或所述基部的接触垫、内凹部、环绕所述内凹部并设置在所述主体和所述基部之间的环形流动通道、位于所述环形流动通道和所述内凹部之间的导件部分、和一个或多个流动口，所述一个或多个流动口在所述环形流动通道和所述内凹部之间连接并穿过所述导件部分；

其中所述气动吸力元件适于提供向下吸力用于吸引基板与所述接触垫有增加的接触力，所述增加的接触力超过所述基板的重力所提供的接触力。

10.如权利要求9所述的基板传送系统，包括至少部分形成于所述基部中的一个或多个气动通道及与所述一个或多个气动通道耦接的气动供应系统。

11.一种在电子器件制造系统的部件之间传送基板的方法，包括以下步骤：提供包括基部的终端受动器，所述基部适于与机器人部件耦接，所述终端受动器具有一个或多个气动吸力元件及三个或更多个接触垫，其中所述一个或多个气动吸力元件包括耦接至所述基部的主体、内凹部、环绕所述内凹部并设置在所述主体和所述基部之间的环形流动通道、位于所述环形流动通道和所述内凹部之间的导件部分、和一个或多个流动口，所述一个或多个流动口在所述环形流动通道和所述内凹部之间连接并穿过所述导件部分；

在所述三个或更多个接触垫上支撑基板；及

通过所述一个或多个气动吸力元件的操作产生向下吸力，以吸引所述基板与所述三个或更多个接触垫有增加的接触力，所述增加的接触力超过所述基板的重力所提供的接触力。