[发明专利]阵列基板、辐射检测器以及配线基板

权利要求书

1.一种阵列基板，包括：

基板；

多个第一配线，设置在所述基板的表面上并且沿第一方向延伸；

多个第二配线，设置在所述基板的表面上并且沿着与所述第一方向相交的第二方向延伸；

薄膜晶体管，设置在所述多个第一配线和所述多个第二配线所限定的多个区域的每一个中；

保护层，至少覆盖所述多个第一配线和所述多个第二配线；以及

多个连接部，经由延伸部连接至外短环，设置在以下区域的至少一个中：所述保护层上的区域、所述多个第一配线和所述基板之间的区域以及所述多个第二配线与所述基板之间的区域，所述多个连接部电连接至所述多个第一配线与所述多个第二配线中的每一个并且包括比所述多个第一配线和所述多个第二配线的材料具有更高抗蚀性的导电材料，

所述多个第一配线和所述多个第二配线在所述基板的外围侧上的端面覆盖有所述保护层，以及

所述连接部在所述基板的外围侧上的端面在平面视角上位于所述基板的外围。

2.如权利要求1所述的基板，其特征在于，所述连接部包括氧化物导电材料和防腐蚀金属中的至少一个。

3.如权利要求1或2所述的基板，其特征在于，所述连接部包括从由ITO、IZO、ZnO、Sn₂O₃:Sb、Sn₂O₃:F、IGZO和金(Au)构成的组中选择的至少一个。

4.如权利要求1所述的基板，其特征在于，至少在所述基板的外围附近的所述保护层的区域包括氧化物绝缘材料、氮化物绝缘材料和氮氧化物绝缘材料中的至少一个。

5.一种辐射检测器，包括：

如权利要求1所述的阵列基板；

光电转换元件，设置在由所述阵列基板的所述多个第一配线和所述多个第二配线所限定的多个区域的每一个中；以及

闪烁体，设置在所述光电转换元件上。

6.一种配线基板，包括：

基板；

配线，设置在所述基板的表面上；

电路元件，电连接至所述配线；

保护层，至少覆盖所述配线；以及

连接部，经由延伸部连接至外短环，设置在所述保护层上的区域、所述配线与所述基板之间的区域的至少一个中，所述连接部电连接至所述配线并且包括比所述配线的材料具有更高抗蚀性的导电材料，

所述配线在所述基板的外围侧上的端面覆盖有所述保护层，以及

所述连接部在所述基板的外围侧上的端面在平面视角上位于所述基板的外围。

7.如权利要求6所述的基板，其特征在于，所述连接部包括氧化物导电材料和防腐蚀金属中的至少一个。

8.如权利要求6所述的基板，其特征在于，所述连接部包括从由ITO、IZO、ZnO、Sn₂O₃:Sb、Sn₂O₃:F、IGZO和金(Au)构成的组中选择的至少一个。

9.如权利要求6所述的基板，其特征在于，至少在所述基板的外围附近的所述保护层的区域包括氧化物绝缘材料、氮化物绝缘材料和氮氧化物绝缘材料中的至少一个。