[发明专利]隔膜安装部件及带电粒子线装置

权利要求书

1.一种隔膜安装部件，设置在带电粒子线装置上，

上述带电粒子线装置具备：将一次带电粒子线照射在试样上的带电粒子光学镜筒；构成该带电粒子线装置的一部分，内部通过真空泵进行真空排气的壳体；以及能够维持进行上述真空排气的空间的气密状态，并且使上述一次带电粒子线透射或者通过的隔膜，

上述隔膜安装部件的特征在于，具备：

隔膜设置部位，其用于安装TEM用膜片并将其用作上述隔膜，该TEM用膜片被保持在外形的最长部为2.8mm以上3.2mm以下的基座上；以及，

壳体固定部位，其安装在上述带电粒子线装置的壳体上，

上述隔膜设置部位具有与上述基座的外形成对的形状的定位结构，

上述定位结构的直径或者最大的对角线的长度小于上述基座的外形。

2.一种隔膜安装部件，设置在带电粒子线装置上，

上述带电粒子线装置具备：将一次带电粒子线照射在试样上的带电粒子光学镜筒；构成该带电粒子线装置的一部分，内部通过真空泵进行真空排气的壳体；以及能够维持进行上述真空排气的空间的气密状态，并且使上述一次带电粒子线透射或者通过的隔膜，

上述隔膜安装部件的特征在于，具备：

隔膜设置部位，其用于安装TEM用膜片并将其用作上述隔膜，该TEM用膜片被保持在外形的最长部为2.8mm以上3.2mm以下的基座上；以及，

壳体固定部位，其安装在上述带电粒子线装置的壳体上，

上述隔膜设置部位具有与上述基座的外形成对的形状的定位结构，

上述定位结构的直径或者最大的对角线的长度比上述基座的外形大出上述隔膜的安装位置的误差的允许量。

3.根据权利要求1或2所述的隔膜安装部件，其特征在于，

上述隔膜设置部位的对角线的最大的长度为2.8mm以上3.2mm以下。

4.根据权利要求1或2所述的隔膜安装部件，其特征在于，

上述隔膜设置部位是凸形状。

5.根据权利要求1或2所述的隔膜安装部件，其特征在于，

在安装上述隔膜的面上具有沿上述隔膜安装部件的厚度方向贯穿的开口部，

上述开口部中，与设置上述隔膜的面相反的一侧的面的开口面积大于设置上述隔膜的面的开口面积。

6.根据权利要求5所述的隔膜安装部件，其特征在于，

上述开口部是从设置上述隔膜的面以放射状扩展的圆锥形状。

7.一种带电粒子线装置，其特征在于，具备：

将一次带电粒子线照射在试样上的带电粒子光学镜筒；

构成该带电粒子线装置的一部分，内部通过真空泵进行真空排气的壳体；

能够维持进行上述真空排气的空间的气密状态，并且使上述一次带电粒子线透射或者通过的隔膜；以及

权利要求1至6中任一项所述的隔膜安装部件。

8.一种隔膜安装夹具，在隔膜安装部件上安装隔膜时使用，上述隔膜安装部件安装在将一次带电粒子线照射在放置于非真空环境内的试样上的带电粒子线装置的壳体上，上述隔膜使上述一次带电粒子线透射或者通过并从真空空间隔离上述非真空环境的空间，

上述隔膜安装夹具的特征在于，具有：

具有设置上述隔膜安装部件的隔膜安装部件设置部位的底板；以及

推压部件，设置在上述隔膜安装部件设置部位的铅垂上方，并通过在铅垂方向能够移动而推压基座，该基座设置于上述隔膜安装部件之上并保持有上述隔膜，

上述底板具有以使上述隔膜安装部件的开口部的中心位于上述推压部件的中心轴上的方式规定该隔膜安装部件的设置位置的定位结构。

9.根据权利要求8所述的隔膜安装夹具，其特征在于，

上述底板具有设置在上述隔膜安装部件设置部位上的贯穿孔，

上述贯穿孔的一端的至少一部分被上述隔膜封闭，

在上述贯穿孔的另一端具有直接或者间接地连接真空泵的真空泵连接部位。