[发明专利]研磨加工工具以及构件的加工方法

权利要求书

1.一种研磨加工工具，其特征在于，该研磨加工工具包括具有与被研磨加工物的曲面相对应的形状的研磨面的研磨垫，以与所述曲面均匀地接触。

2.根据权利要求1所述的研磨加工工具，其特征在于，所述研磨加工工具是直径20mm以上的圆板状。

3.根据权利要求1或2所述的研磨加工工具，其中，所述研磨垫的硬度以肖氏A硬度计为5以上。

4.一种加工方法，其特征在于，使用包括具有与被研磨加工物的曲面相对应的形状的研磨面的研磨垫的研磨加工工具，以与所述曲面均匀地接触，将该研磨垫按压保持于被研磨加工物的曲面，一边向所述研磨垫和所述被研磨加工物的接触部供给加工液一边使所述研磨加工工具旋转而研磨加工被研磨加工物的曲面。

5.根据权利要求4所述的加工方法，其中，在所述加工方法中，所述加工工具是直径20mm以上的圆板状，为了进一步抑制所述加工液的飞溅，控制加工工具的转速而抑制相对于研磨面的离心力。

6.根据权利要求4或5所述的加工方法，其中，在所述研磨垫的表面含有磨粒。

7.一种加工方法，其是使用了研磨加工工具的被研磨加工物的加工方法，其特征在于，将所述研磨加工工具和/或被研磨加工物安装于具有压力控制装置的加工装置，测量被研磨加工物的曲面和研磨加工工具的表面之间的接触部分的接触压力，控制研磨加工工具的加工部分的形状以及加工压力以使该接触压力变得均匀。