[发明专利]脱模片及使用其的背衬片叠层体有效
| 申请号： | 201480043497.3 | 申请日： | 2014-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN105451989B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 酒井贤司;松井梨绘 | 申请（专利权）人： | 积水化学工业株式会社 |
| 主分类号： | B32B27/00 | 分类号： | B32B27/00;B24B37/30;B32B27/10;B32B27/36;C09J7/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脱模 使用 背衬片叠层体 | ||
【权利要求书】：
1.一种脱模片，其可剥离地配置在叠层一体化于背衬片上的粘合剂层上而使用，所述背衬片介于被研磨物和台板之间而使用，
所述脱模片为矩形且宽度为2.4m以上，整体的厚度为190μm以下，其包含：片材主体、和叠层一体化于所述片材主体的两个表面的脱模剂层，
所述片材主体包含厚度为10～60μm的聚酯类树脂膜及叠层一体化于所述聚酯类树脂膜上的纸基材。
2.如权利要求1所述的脱模片，其中，聚酯类树脂膜包含聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。
3.如权利要求1或2所述的脱模片，其中，形成于纸基材上的脱模剂层的表面实施了凹凸加工。
4.一种背衬片叠层体，其包括：
介于被研磨物和台板之间而使用的背衬片、
叠层一体化于所述背衬片上的粘合剂层、和
可剥离地叠层于所述粘合剂层上的脱模片，
所述脱模片为矩形且宽度为2.4m以上，整体的厚度为190μm以下，其包含：片材主体、和叠层一体化于所述片材主体的两个表面的脱模剂层，
所述片材主体包含厚度为10～60μm的聚酯类树脂膜及叠层一体化于所述聚酯类树脂膜上的纸基材。
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