[发明专利]玻璃膜剥离装置

权利要求书

1.一种玻璃膜剥离装置，其具备使层叠在支承体上的具有挠性的玻璃膜从所述支承体剥离的剥离单元，其特征在于，

所述玻璃膜剥离装置具备：

检测单元，其对与剥离所述玻璃膜时的阻力的大小对应地变化的特征值进行检测；和

控制单元，其根据检测出的所述特征值对所述剥离单元的剥离动作进行控制，

所述剥离单元是吸附构件，所述吸附构件通过在吸附了所述玻璃膜与所述支承体中的一方的表面的状态下向从另一方离开的离开方向移动，从而使剥离前进部横切移动，所述剥离前进部成为所述玻璃膜与所述支承体层叠而成的层叠部和剥离后的剥离部之间的边界，

所述控制单元根据所述特征值的变化而使所述吸附构件的向所述离开方向的移动速度变化，从而使所述剥离前进部的移动速度追随地变化。

2.根据权利要求1所述的玻璃膜剥离装置，其特征在于，

所述特征值是对所述吸附构件向所述离开方向的相反方向作用的阻力。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃膜剥离装置，其特征在于，

所述玻璃膜剥离装置具备多个所述吸附构件，

多个所述吸附构件分别对由界线将所述一方的表面划分成多个区域而成的各区域进行吸附，并且从位于所述剥离前进部的横切移动预定方向的上游侧的所述吸附构件起，相邻的所述吸附构件依次向所述离开方向移动，所述界线沿与所述横切移动预定方向正交的方向延伸。