[发明专利]原位可移除式静电夹盘

权利要求书

1.一种静电夹盘，包括：

实质上刚性的支撑层，所述支撑层具有底表面与顶表面，所述底表面界定所述静电夹盘的底部；

第一电极；

第二电极，所述第二电极至少部分插入于所述第一电极；

电介质层，所述电介质层具有顶表面，所述顶表面界定所述静电夹盘的顶部，所述第一与第二电极设置于所述电介质层的所述顶表面与所述支撑层的所述顶表面之间，所述支撑层、第一电极、第二电极与电介质层形成单一主体；及

第一连接器，所述第一连接器耦接于所述第一电极并且暴露至所述静电夹盘的所述底部；及

第二连接器，所述第二连接器耦接于所述第二电极并且暴露至所述静电夹盘的所述底部，所述第一与第二连接器配置成经由具有弹簧装载的导体的接触而电连接于电源。

2.如权利要求1所述的静电夹盘，其中所述第一连接器包括导电垫。

3.如权利要求2所述的静电夹盘，进一步包括：

一或更多个导电通孔，所述一或更多个导电通孔通过所述支撑层将所述导电垫电连接至所述第一电极。

4.如权利要求1所述的静电夹盘，其中所述第一电极包括多个指部，所述多个指部插入于所述第二电极的多个指部。

5.如权利要求1所述的静电夹盘，其中所述支撑层与所述电介质层具有气体导管形成于其中以及三或更多个升举杆孔形成通过其中。

6.如权利要求4所述的静电夹盘，其中所述电介质层的所述顶表面具有一或更多个气体通道形成于其中，所述气体通道耦接于所述气体导管。

7.一种用于夹持基板的设备，包括：

(a)支撑构件，包括：

顶表面；

多个第一升举杆，所述多个第一升举杆设置通过形成通过所述顶表面的孔；

多个第二升举杆，所述多个第二升举杆设置通过形成通过所述顶表面的孔；

(b)静电夹盘，所述静电夹盘设置于所述支撑构件的所述顶表面上，所述静电夹盘包括：

实质上刚性的支撑层，所述支撑层具有底表面与顶表面，所述底表面界定所述静电夹盘的底部；

第一电极，所述第一电极至少部分插入于第二电极；

电介质层，所述电介质层具有顶表面，所述顶表面界定所述静电夹盘的顶部，所述第一与第二电极设置于所述电介质层的所述顶表面与所述支撑层的所述顶表面之间；

(c)第一致动器，所述第一致动器配置成将所述多个第一升举杆转移于升高位置与缩回位置之间，所述升高位置突伸通过所述电介质层的所述顶表面，且所述缩回位置齐平或低于所述电介质层的所述顶表面；及

(d)第二致动器，所述第二致动器配置成将所述多个第二升举杆转移于升高位置与缩回位置之间，所述升高位置使所述静电夹盘间隔于所述支撑构件的所述顶表面，且所述缩回位置使所述静电夹盘坐落于所述支撑构件的所述顶表面上。

8.如权利要求7所述的设备，其中所述支撑构件的所述顶表面包括：

凹部，用于接收所述静电夹盘。

9.如权利要求8所述的设备，其中所述静电夹盘包括：

一或更多个气体输送凹槽，所述一或更多个气体输送凹槽形成于所述静电夹盘的外部边缘并且耦接于形成于所述静电夹盘的所述顶表面中的一或更多个气体输送凹槽，形成于所述静电夹盘的所述外部边缘中的所述气体输送凹槽由形成于所述支撑构件的所述顶表面的所述凹部的侧壁围绕。

10.如权利要求8所述的设备，其中所述静电夹盘与所述支撑构件具有电连接，所述电连接配置成响应于所述静电夹盘相对于所述支撑构件的位置而自动地接合与分离。

11.如权利要求8所述的设备，其中所述电介质层包括热膨胀系数为等于所述支撑层的热膨胀系数。

12.如权利要求8所述的设备，其中所述第一电极包括多个指部，所述多个指部插入于所述第二电极的多个指部。